详细介绍
红外退火炉产品特点
采用国外知名品牌部件:循环水路设计,带过滤部件,延长清洗炉体水路;红外灯管寿命高达5000小时,峰值波长约为1.25微米,炉体工艺镜面抛光。
高精度控温:模糊逻辑PID控温,控温精度可达±0.1℃。
快速控温:高能流密度红外灯设计,24秒内仪器可快速升温至1150℃;同时,炉体的热容小,配合先进的冷却系统,可实现快速降温。
异常报警保护:超温和流量异常时均会自动切断加热,保护炉膛,达到报警的效果。
洁净控温:非电阻炉加热,无绝热保温材料,更适合在洁净环境中使用。
可扩展性:带观察窗,可配CCD,采集光学信号;预留接口,可加载电学测量模块等。
红外退火炉应用功能
强诱导体薄膜的结晶化退火
注入离子后的扩散退火
半导体材料的烧成与退火条件研究
快速热退火、热氧化和热氮化
电极合金化
晶向化和坚化
石墨烯等气相沉积
碳纳米管等外延生长
单晶基板热处理
红外退火炉技术参数
型号 | IRLA-1200 |
温度范围 | RT~1150℃ |
温控精度 | ±0.1℃ |
最大升温速率 | 45℃/s (真空),40℃/s (氮气) |
测试气氛 | 真空, N2 ,惰性气体 |
最大样品尺寸 | 20 x 20 x 2,单位mm(最大) |
处理材料类型 | 薄膜、粉体、块体、液体 |
温度传感器 | 标准K型热电偶 |
额定功率 | 4x(1KW-110V/根) |
温度程序模式 | 温度-时间设置,最高256步,32个程序,循环、保温等功能模糊PID逻辑控温,手动/自动开始,USB485连接 |
外观尺寸 | 420X320X220,单位mm |
重量 | 20.5kg |
温升曲线图(1150℃)
![](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/11044/Company/20190108-20094961045c343ab2843eb.png)
产品优势
红外退火炉采用红外辐射加热技术同时搭配高精度温度控制系统,极大程度上改善了电阻式加热的弊病,同时可实现样品快速升温和退火。可广泛应用于强诱导体薄膜的结晶化退火、注入离子后的扩散退火、半导体材料的烧成与退火条件研究、快速热退火、热氧化和热氮化、电极合金化、碳纳米管等外延生长、单晶基板热处理等功能中,对新材料相关的RTP研究工作起到重要作用。
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武汉嘉仪通科技有限公司
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