光功率热分析仪产品特点
OPA具有独立知识产权,获得多项技术ZG!
光功率热分析仪应用功能
各种材料相变温度(融化、软化、晶化等)的实时测定
新型材料(相变材料、相变储能材料)的稳定性测试及性能优化
强诱导体薄膜的结晶化退火
注入离子后的扩散退火
半导体材料的烧成与退火条件研究
玻璃基板的均热退火
热循环试验与热冲击试验
升温脱离试验与触媒试验
● NiAl复合薄膜 ● 氧化钒薄膜 ● PZT铁电材料 ● MgO/Ni-Mn-Ga薄膜 ● GST相变存储薄膜 ● 金属Co薄膜 ● Al2O3薄膜 | ● iN薄膜 ● GeTe薄膜 ● ZrO2薄膜 ● 掺Ti的ZnSb薄膜 ● SiC薄膜 ● 显示屏玻璃 ● 变记忆合金薄膜 | 样品满足以下要求: ● 尺寸:长x宽 (5-20)x(5-20) ,单位mm ● 厚 度 2.0mm(含基底)以下为宜 ● 变温度测试样品,具备光学反射平面 ● 热膨胀系数测试样品,具备光学反射双平面 ● 适用于透光材料的热膨胀系数检测 ● 热膨胀检测样品的热膨胀量≥266nm |
光功率热分析仪应用实例
● 红外材料 | ● 复合材料 |
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图1:VO2不同升温速率12℃/min、15℃/min 对比图(四川大学提供样品) | 图2:铝镍合金复合薄膜(西南科技大学提供样品) |
● 相变存储材料 | ● 热电薄膜材料 |
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图3:相变存储材料图(中科院微系统所提供样品) | 图4:热电转换薄膜材料(掺Ti的ZnSb)(深圳大学提供样品) |
● 氧化锆薄膜 | |
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图5:ZrO2薄膜(清华大学提供样品) | 氧化锆薄膜与XRD对比图 |
● 高温陶瓷材料 | ● 硬质合金薄膜材料 |
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图6:高温陶瓷材料(TiN薄膜硅基底)(海南大学提供样品) | 图7:切削刀具相变监测曲线(武汉大学提供样品) |
● SiC薄膜 | ● 显示屏玻 |
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SiC薄膜热膨胀系数监测曲线(ZG电子科技集团第五十五研究所提供样品) | 显示屏玻璃热膨胀系数监测曲线(武汉天马提供样品) |
光功率热分析仪技术参数
型号 | OPA-300 | OPA-1200 | OPA-1800 |
温度范围 | RT~300℃ | RT~1200℃ | RT~1800℃ |
程序升温重复性偏差 | <1.0% | ||
程序升温速率偏差 | <1.0% | ||
相变温度测量精密度偏差 | <3% | ||
相变温度测量正确度偏差 | <3% | ||
热膨胀系数测量精密度偏差 | <4.5% | ||
热膨胀系数测量正确度偏差 | <±15% | ||
最大工作功率 | 4.0kw | ||
最大升温速度 | 50℃/s(50℃~1200℃、真空氛围),45℃/s℃/(50℃~1200℃,N₂氛围) | ||
温度一致性 | ±2.0℃(1200℃,真空),±4.5℃(1200℃,N₂) | ||
制冷要求 | 水冷 | ||
相变薄膜材料检测厚度下限 | 1.0×10-9m | ||
热膨胀分辨率 | 266nm | ||
主机尺寸 | 650 x 790 x 1350,单位mm | ||
重量 | 92.3kg |
光功率热分析仪样品要求
●尺寸:长×宽 5x5~20x20,单位mm,厚度2.0mm(含基底)以下为宜
●相变温度测试样品,具备光学反射平面
●热膨胀系数测试样品,具备光学反射双平面,适用于透光材料的热膨胀系数检测
●检测样品的热膨胀量≥266nm
●薄膜可选择适当基底,建议用20mmx20mmx1.5mm石英玻璃或硅片
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武汉嘉仪通科技有限公司
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