薄膜热电参数测试系统产品特点
专门针对薄膜材料的Seebeck系数和电阻率测量。
测试环境温度范围达到81K~700K。
采用动态法测量Seebeck系数,避免了静态测量在温差测量上的系统误差,测量更准确。
采用四线法测量电阻率。
热电偶探针经过严格的筛选配对保证测试结果的准确和稳定。
软件操作简单,智能化可实现全自动模式。
薄膜热电参数测试系统技术参数
型号 | MRS-3 | MRS-3RT | |
环境温度 | 81K~700K | RT | |
温控方式 | PID程序控制 | \ | |
真空度 | ≤ 1Pa | \ | |
测试气氛 | 真空 | 空气 | |
测量范围 | 泽贝克系数:S ≥ 8µV/K; 电阻率:0.1µΩ•m ~ 1000KµΩ•m | ||
分辨率 | 泽贝克系数:0.05µV/K; 电阻率:0.05µΩ•m | ||
相对误差 | 泽贝克系数 ≤ 7%,电阻率 ≤ 5% | ||
测量模式 | 自动 | ||
样品尺寸 | 长 x 宽:(10~18)x(4~14)mm2,薄膜厚度≥50nm | ||
主机尺寸 | 采集箱:470x400x140,单位mm | 170x250x220,单位mm | |
重量 | 31.9kg | 3.5kg |
薄膜热电参数测试系统样品要求
样品满足上述样品尺寸,待测面需平整,薄膜均匀性好,保证与铜片接触良好
薄膜材料厚度zuidi可至100nm,其均匀性有较高要求,薄膜厚度达到微米级别较好
薄膜材料的衬底需选择电阻率较大或绝缘材料为宜,如玻璃、Si等材料
薄膜热电参数测试系统技术原理
动态法:测量Seebeck系数
在待测温场下给样品两端加一个连续变化的微小温差,通过记录样品两端温差和热电势的变化,然后将温差和热电势拟合成一条直线,直线斜率即为该材料在该温场下的Seebeck系数。
采用四线法测量电阻率。
薄膜热电参数测试系统测试实例
标准镍带测试结果
![](http://yiqi-oss.img-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/11044/Company/20190108-10164651365c344837510aa.png@235h_810w_2e)
东华大学MoS2测试结果
![](http://yiqi-oss.img-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/11044/Company/20190108-10164651365c34483795f02.png@236h_810w_2e)
MRS-3对Bi2Te3薄膜测试结果(ZG科学院电工研究所提供样品)
![](http://yiqi-oss.img-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/11044/Company/20190108-10164651365c344837e7280.png@235h_810w_2e)
MRS-3对Bi2Te3薄膜测试结果(ZG科学院电工研究所提供样品)
![](http://yiqi-oss.img-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/11044/Company/20190108-10164651365c3448382cb7c.png@269h_810w_2e)
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