TMC主动压电地面减振平台TOOL-Base

概述：

TOOL-Base是一种先jin的主动压电地面减振平台，用于超精密仪器和机械设备。

它适用于比典型的商业扫描电子显微镜（SEM）更大或更重的仪器，而且设备有高度限制。

TOOL-Base不局限于单一的配置，而是可以被设计成与工具的尺寸、腿的布局和高度要求紧密匹配。此外，它的容量可以与有效载荷的质量相匹配。

优点：

• 硬安装技术 - TOOL-Base是带有内部气动振动控制系统的理想工具，提供一个稳定和坚硬的平台，以支持振动敏感的工具。

• 主动惯性振动消除 - TOOL-Base采用高灵敏度，低频惯性速度传感器，以实现高水平的振动衰减，即使在安静的地面上。

• 采用压电技术的串行设计 - 独特的串行设计和专有的高功率压电技术使得0。6Hz开始的有源带宽很宽，并且在2Hz开始的主动减振90%达到无与伦比的惯性主动减振效果。

• 配置灵活性 - TOOL-Base的配置可以调整，以适应刀具的底座和高度要求。

性能：

使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模拟振动来测试1800磅（818千克）有效载荷