采用独特的STACIS?技术
采用高力、加长行程的压电致动器
you效载荷的位置可重复性在微米以内
框架安装设计
6个主动自由度
可选的VCM前馈和/或反馈
始于0.6 Hz的主动隔振
响应平台运动的快速稳定时间
无软空气悬架
通过USB 2.0实现基于PC的图形用户界面(GUI)的高速数字控制器
简单、坚固且经济高xiao
TMC 用于OEM检测、光刻和计量工具的内部隔振器Stage-Base 450
TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案,以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度dian动X-Y平台的高ji半导体工具而设计的主要消振系统。这些工具不但需要极其you效的消振性能,它们还要求由平台引起的you效载荷运动能够非常快速地稳定,以zui大限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM,可以缩短稳定时间,进一步提高吞吐量,从而为移动平台应用提供xian进的主动振动和运动消除系统。
TMC 用于OEM检测、光刻和计量工具的内部隔振器Stage-Base 450优点:
Stage-Base 450采用了下一代主动硬安装压电消振集成音圈技术。只有TMC可以提供这种独特的高ji低频消振串行型技术,通过使用音圈电机(VCM),实现了主动移动平台运动消除。
Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术,使用压电致动器和串行式架构中的刚性悬架实现了很好的消振。这实现了始于0.6 Hz的业内zui佳地面隔振,响应于平台力的初始偏转明显更小。
规格:
性能:
TMC 用于OEM检测、光刻和计量工具的内部隔振器Stage-Base 450应用照片:
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激光控制:激光电流源、激光器温控器、激光器控制、伺服设备与系统等等
探测器:光电探测器、单光子计数器、单光子探测器、CCD、光谱分析系统等等
定位与加工:纳米定位系统、微纳运动系统、多维位移台、旋转台、微型操作器等等
光源:半导体激光器、固体激光器、单频激光器、单纵模激光器、窄线宽激光器、光通讯波段激光器、CO2激光器、中红外激光器、染料激光器、飞秒超快激光器等等
光机械件:用于光路系统搭建的 gao 品 zhi 无应力光机械件,如光学调整架、镜架、支撑杆、固定底座等等
光学平台:主动隔振平台、气浮隔振台、实验桌、刚性工作台、面包板、隔振、隔磁、隔声综合解决方案等等
光学元件:各类晶体、光纤、偏转镜、反射镜、透射镜、半透半反镜、滤光片、衰减片、玻片等等
染料:激光染料、荧光染料、光致变色染料、光致发光染料、吸收染料等等
TMC继续在先进技术的基础上开发新的解决方案,以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的高ji半导体工具而设计的主要消振系统。
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