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解决方案
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基于STACIS®的主动压电隔振系统应用案例
发布:青岛森泉光电有限公司浏览次数:1077【概述】
为什么选用主动的隔振控制系统?
ü 优越的低频隔振效率。(具体效率请见红蓝隔振曲线图)
ü 主动“Hard-Mount”架构提供了比被动气浮隔离器快10倍的稳定时间。(黑色稳定速度曲线图)
ü 避免气浮系统重力不稳定的风险。
ü 可以与任何设备自带的隔离系统“堆叠串联”。
通常情况下一套STACIS®隔振系统由3或4个隔振器加上数字控制器组成:
每个隔振器有三种负载能力的版本可供选择:
– 400 – 1100 lbs (182 – 500 kg)
– 900 – 2100 lbs (410 – 955 kg)
– 1900 – 4500 lbs (864 – 2045 kg)
对于尺寸较大的平台系统,可以将多个STACIS系统组合为一个操作系统来实现整体的隔振。
STACIS III 通常会配置层压钢板平台和底座支架来调整适配高度。
两种典型的配置方式:
• 安装在混凝土地板上:普通实验室环境, 通常可以为需要获得极低的系统高度时做特殊设计。
• 安装在高架地板上:通常应用于洁净室中。
应用案例:
1.附带Lift hood 的STACIS 2100:应用于UHV-STM超高真空扫描隧道显微镜
• 配置3-Mount STACIS系统
• 有效降低总体高度的left-hood设计
2.应用于CAMECA LEAP 4000X扫描探针显微镜
• 带有层压钢板和Lift Hoods
• 4-Mount STACIS系统
3. 应用于FEI Titan G2 TF30和Titan 80 TEM
• 4-mount STACIS系统
• 配置升高支架
4.应用于FEI Titan Cubed TEM立方透射电镜
• 7-Mount STACIS 系统
• 4- Mount嵌套式平台设计,更好地隔离电镜隔音外壳的共振。
3- Mount 主动HT Tank隔振,大限度的减少通过电缆传导到主机的地板振动
6. 针对SEM的集成版产品-STACIS IX SEM-Base
• 一款采用STACIS技术、结构紧凑、性价比高的SEM解决方案
• 适用于大多数SEM设备
• 不干扰电子显微镜内部隔离器的工作
• 安装时配置TMC的SEM-Ramp和SEM-Lift,便捷就位。
7.主动&被动串联隔振产品-STACIS iX LaserTableBase
• 结合STACIS压电隔振在低频率的良好性能和Maxdamp气浮隔振在高频率的性能。
• 高低频隔振的串联使其隔振性能全频优越。
• 主动带宽0.6 Hz -150 Hz, 150Hz以上由气浮隔振接管。
2021-07-08相关仪器 -
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