详细介绍
性能指标
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工作电源:AC220V±10%,50±0.5Hz |
输入压力:100kPa—500kPa |
标气流量范围:0-250sccm |
零气流量范围:0-15000sccm |
流量准确度:±1%F.S |
重复性精度:±1% |
稀释比:1:1000 |
标气入口:4个 |
标准气体输出口:1个 |
排空口:1个 |
产品优势
1.MFC采用闭环模糊控制;精度高;
2.MFC与控制器采用数字通讯方式,无干扰,读数精确;
3.仪器操作界面为全触摸屏操作,显示信息齐全,全流程可视化,操作简单;
4.自诊断提示功能保证目标标气浓度准确;
5.多路标气输入,免除更换钢瓶气;