多工位镀膜机手套箱

Lab2000 Auto系列是一种多功能镀膜设备(热蒸发/热阻蒸发和电子束蒸发可选)，设计用于满足科研工作者和电子显微学家的需求。可配备各种真空系统、真空腔室和标准化工艺附件，提供一系列实验技术以满足现代化实验室的需要。可选择配置钟罩式玻璃腔室、圆柱形玻璃腔室，也可以配置通用的前开门式不锈钢箱式腔室。腔室具有额外的高度与宽度，适用于安装较多的工艺附件。客户可选择的模块化工艺附件，包括热阻蒸发源及其控制电源、电子束蒸发源、遮挡板、基片夹具以及膜厚监控仪等。