使用普仁离子色谱仪离子交换色谱法测定浓硝酸中磷酸根和硫酸

硝酸是一种有着强氧化性和高腐蚀性的强酸，普遍使用于半导体行业，在半导体加工制造业中常被用做刻蚀剂用以刻蚀晶圆，这其中低含量的阴离子危害半导体元器件的产品品质。普仁仪器研发的离子色谱仪能够成功用于浓硝酸中磷酸根和硫酸的测定。

在测定硝酸样品中低含量离子时，由于其酸性大，不可以直接进柱分析，若稀释后在进样，对于低含量离子结果有影响，因此 必须先调节其PH值，使其能可以直接进样分析。对于调节溶液PH值的方法，通常是加入适当的碱，但在这里又要面临着2个难题。若加入碱溶液，则会对原样品进行稀释;若加入碱固体，这个固体的量又不太好控制。普仁仪器为了更好地解决这个问题，自主研发了一套前处理装置，合理有效避免了以上的2个难题。该处理简单易操作。

仪器：青岛普仁仪器有限公司 离子色谱仪

淋洗液：碳酸盐体系

流速：0.7mL/min

柱子：PRA-4阴离子色谱柱

柱温：36.5

进样体积：10uL

图一： 某客户硝酸E5的样品图

图二： 某客户硝酸F 5的样品图