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热场发射扫描电子显微镜JSM-7610FPlus

发布:捷欧路(北京)科贸有限公司
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二次电子像分辨率 0.8 nm(加速电压 15 kV),1.0 nm(加速电压 1 kV )

分析时 3.0 nm (加速电压 15 kV, WD 8 mm, 探针电流 5 nA ) 

 

倍率 Direct magnification:  x25 to 1,000,000(120 x 90 mm)

Display magnification:  x75 to 3,000,000(1,280 x 960 pixels) 

 

加速电压 0.1 ~ 30 kV 

 

探针电流 数 pA ~ 200 nA 

 

电子枪 浸没式肖特基场发射电子枪 

 

透镜系统 聚光镜(CL)、  Z 佳光阑角控制镜(ACL)、  半浸没式物镜(OL) 

 

样品台 全对中测角样品台、5轴马达驱动 

 

电子检测器系列 高位检测器、 r‐过滤器 内置、  低位检测器 

 

自动功能 自动聚焦、自动消象散、自动亮度/衬度调节 

 

图像观察用

液晶显示器 屏幕尺寸 23英寸宽屏

 分辨率 1,920 × 1,080像素 

 

抽真空系统 电子枪室/中间室 SIP 离子泵

样品室 TMP 分子泵 


2022-02-09
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