安装在真空室内产生高密度等离子体的等离子体源。利用和真空蒸镀结合的等离子体辅助沉积技术(离子镀),能提高光学薄膜、保护膜、功能膜等的薄膜特性。另外,还可以用作等离子处理如对清洗基板和表面改性也很有效。
仪器网微信服务号
扫码获取最新信息
仪器网官方订阅号
咨询客服
仪采招微信公众号
采购信息一键获取海量商机轻松掌控