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捷欧路(北京)科贸有限公司
主营产品:透射电子显微镜,扫描电子显微镜,球差电子显微镜,台式扫描电镜,电子探针显微分析仪
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捷欧路(北京)科贸有限公司

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电子束光刻装置

 
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JBX-6300FS 电子束光刻系统
  • 品牌:日本电子
  • 型号:JBX-6300FS
  • 产地:亚洲 日本
  • JBX-6300FS的电子光学系统在100kV的加速电压下能自动调整直径为(计算值)2.1nm的电子束,简便地描画出线宽在8nm以下(实际可达5nm)的图形。 此外,该光刻系统还实现了9nm以下的场拼...

JBX-9500FS 电子束光刻系统
  • 品牌:日本电子
  • 型号:JBX-9500FS
  • 产地:亚洲 日本
  • JBX-9500FS是一款100kV圆形束电子束光刻系统,兼具世界zui高水平的产出量和定位精度,zuida能容纳300mmφ的晶圆片和6英寸的掩模版,适合纳米压印、光子器件、通信设备等多个领域的研发...

JBX-3200MV 电子束光刻系统
  • 品牌:日本电子
  • 型号:JBX-3200MV
  • 产地:亚洲 日本
  • JBX-3200MV是用于制作28nm~22/20nm节点的掩模版/中间掩模版(mask/reticle)的可变矩形电子束光刻系统。 zuixian极n的技术实现了高速、高精度和高可靠性。 是基于加速...

JBX-3050MV 电子束光刻系统
  • 品牌:日本电子
  • 型号:JBX-3050MV
  • 产地:亚洲 日本
  • JBX-3050MV 是用于制作45nm~32nm 节点的掩模版/中间掩模版(mask/reticle)的可变矩形电子束光刻系统。 zuixian极n的技术实现了高速、高精度和高可靠性。 是基于加速电...

JBX-8100FS 圆形电子束光刻系统
  • 品牌:日本电子
  • 型号:JBX-8100FS
  • 产地:亚洲 日本
  • zuixin高精密JBX-8100FS圆形电子束光刻系统,通过全方位的设计优化,实现更简便的操作,更快的刻写速度,更小的占地面积和安装空间,并且更加绿色节能。