仪器简介：
EQS是差式泵式二次离子质谱（SIMS-SecondaryIonMassSpectrometer‘Bolt-On’probe），可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用zui*技术 的SIMS探针，便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。




技术参数：
应用：

静态 /动态SIMS
一般目的的表面分析
整体的前端离子源，便于RGA和 SNMS
兼容的离子枪/ FAB 枪
成分/污染物分析
深度分析
泄漏检测
与Hiden SIMS 工作站兼容


主要特点：
高灵敏度脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围
SIMS 成像，分辨率在微米以下
光栅控制，增强深度分析能力
45°静电扇形分析器, 扫描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM.
所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输
差式泵3级过滤四极杆，质量数范围至2500amu
灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器
Penning规和互锁装置可提供过压保护
通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件 MASsoft控制