-
产品文章
-
氦质谱检漏仪半导体用配管配件检漏
发布:伯东企业(上海)有限公司浏览次数:26上海伯东客户某专门生产半导体配管配件工程公司, 定制高端不锈钢管, 配件, 阀门和歧管广泛应用于半导体厂务端, 用于输送高压氧气, 氢气等. 客户从现场量测管路, 然后对不同口径的管路进行焊接, 因半导体行业的苛刻使用要求, 配管配件漏率值需要达到 <1E-9mar l/s, 因此需要进行泄漏检测, 已验收管件是否达标. 客户对检漏效率要求较高, 需要在生产线使用且方便移动操作并进行快速的泄露测试, 经过上海伯东推荐选择移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 和 ASM 392!
上海伯东半导体用配管配件氦质谱检漏方法:
考虑到管路衔接长, 需要满足客户快速的检漏要求, 上海伯东德国 Pfeiffer ASM 390 针对此类应用提供大漏模式: 定性泄漏检测从 100 mbar 到 20 mbar 开始 (进入测试模式之前) 此一区间即可进行检漏, 快速缩短检漏时间!
检漏配置: 氦质谱检漏仪 ASM 390,客制转接头和配套密封件一套,喷枪和配套氦气瓶一套
检漏方法:根据配管实际使用工况,采用检漏仪真空模式进行检漏,设置漏率值 1E-9mar l/s, 首先对焊接的单个配管进行检漏, 配管组装完成后, 对整个管线再次进行检漏. 按照下图组装样品, 在怀疑有漏的地方喷氦气(一般需要检漏的部位是焊缝或连接处), 如果有漏, 检漏仪会出现声光报警同时在屏幕上显示当前漏率值.
1. 将制作好的各种管件加工焊接, 然后通过波纹管连接至氦气检漏仪 ASM 390 进行检漏
2. 配管组装完成后, 对整个管线再次进行检漏
3.测试各个管路时, 可依照客户需求将数据记录储存 (并可储存至计算机内)
结论: 经过实际测试, 无论单个管径是 6’, 8’ 或 10’, 长度在 1m~2m, 均可在 < 90 s 以内达到客户检漏底压需求 <1E-9 mbar l/s, 快速又准, 大大提升了工作效率!
到现场配管完成后检漏, 所有管件组装后, 总长度达几十米, 与之前的检漏时间, 工程花费时间可能趋近于一天, 但选用上海伯东 Pfeiffer ASM 390, 在整体抽校与检漏时间上, 几乎缩短了一倍时间!
上海伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 技术参数型号
ASM 390
ASM 392
检测气体
4He, 3He, H2
Z小检测漏率
真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪式: 1X10-8 mbar l/s对氦气的抽速
10 l/s
25 l/s, 内置2台分子泵
前级泵抽速
35 m3/h
进气口压力
20 mbar
20 mbar
无校准的启动时间(20°C)
2 min
进气口
DN 40 ISO-KF
响应时间
< 1 s
Interface, 选配
RS-232, I/O, Ethernet
重量
125 kg
130 kg
结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗女士 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 108 T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958上海伯东版权所有, 翻拷必究!
2023-10-19相关仪器 -
免责声明
①本网刊载上述内容,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任
②若本站内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱:hezou_yiqi
-
认证会员 第 10 年
伯东企业(上海)有限公司
认证:工商信息已核实
- 产品分类
- 品牌分类
- 美国 Gel-pak 芯片包装盒
- Atonarp 过程控制质谱仪
- Europlasma 超薄等离子涂层设备
- 美国 Nor-Cal 真空元件
- 美国 ATC 空气泄漏测试仪
- 德国普发pfeiffer 氦质谱检漏仪
- 德国普发pfeiffer 气体质谱分析仪
- 德国普发pfeiffer 真空计,真空规
- 德国普发pfeiffer 分子泵
- 德国pfeiffer 旋片真空泵/干式真空泵/隔膜泵
- 德国普发pfeiffer 真空镀膜机
- KRI 考夫曼离子源
- 离子刻蚀机,电子蒸发镀膜机
- 美国 inTEST 高低温冲击测试机
- 美国 HVA 真空阀门
- 美国 inTEST 高低温测试机
- 美国 Thermonics 超低温冰水机
- 英国 NanoMagnetics 原子力显微镜
- 美国 Polycold 冷冻机
- 美国 Ambrell 感应加热电源
- (台北)矽碁
- (美国)美国inTEST- Temptronic
- (美国)美国Polycold
- (美国)美国KRI
- (德国)普发真空
- (美国)美国Ambrell
- (英国)英国纳米磁
- (美国)Thermonics
- (美国)Nor-Cal
- (美国)ATC
- (比利时)比利时Europlasma
- (英国)Gel-Pak
- (日本)Atonarp
-
仪企号
伯东企业(上海)有限公司
-
友情链接
-
手机版开启全新的世界m.yiqi.com/zt2129/