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美国KRI
1978年Kaufman博士在美国创立Kaufman & Robinson,Inc公司,研发生产考夫曼离子源Gridded和霍尔离子源Gridless。美国考夫曼离子源历经几十年改良及发展已取得多项专利。 离子源广泛用于离子清洗 PC,离子蚀刻IBE,辅助镀膜 IBAD,离子溅射沉积IBSD领域。
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