-
公司新闻
-
质谱分析仪保护 CVD 工艺免受干泵故障的影响
发布:伯东企业(上海)有限公司浏览次数:75Atonarp 质谱分析仪 Aston™ 半导体 CVD / ALD 应用
上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™ 专为半导体生产而设计, 作为一个强大的平台, Aston™ 可以取代多种传统工具, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断并在一系列应用中提供前所未有的控制水平, 适用于光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.
Aston™ 质谱分析仪耐受腐蚀性气体和气化污染物冷凝液, 能够在半导体生产遇到的恶劣工况下可靠运行, 与传统质量分析仪相比, 使用 Aston™ 的维修间隔更长. 它包括自清洁功能, 可消除由于某些工艺中存在的冷凝物沉积而导致的污垢积累.
Aston™ 质谱分析仪典型应用: 保护 CVD 工艺免受干泵故障的影响
真空泵是半导体加工厂中应用Z广泛的设备之一. 它们对各种化学气相沉积工艺至关重要, 这些工艺在真空下运行, 以确保在较低的加工温度下获得均匀, 保形的沉积涂层. 干泵通常是惰性且可靠的, 但在苛刻的半导体制造工艺中进行泵送时, 干泵可能会出现意外故障.
灾难性故障
电介质沉积冷凝液和苛刻的工艺气体 (如NF3) 可能会导致性能下降或突然失效模式, 包括沉积物突然吸入, 排气堵塞, 导致泵卡住的沉积以及泵部件的腐蚀性退化. 泵故障通常会对 10个甚至 100个在制品晶圆造成不可修复的损坏. 此外, 工具停机和清理可能会导致大量开支和收入损失.CVD 工艺过程中, 已污染的干泵
上海伯东 Aston™ 质谱分析仪提供解决方案
通过在故障前, 提前更换或使干泵离线, 可以减轻灾难性的真空损失, 从而提高生产线产量.
数据驱动干泵故障预测. 通过测量进入 (进气) 和排出 (排气) 干泵的气体的分子类型和合格性 (分压), 可以模拟破坏性腐蚀或沉积物堆积. 仅气体压力和体积仅部分指示气流的腐蚀性或堵塞性. 至关重要的是流经干泵的气体成分. Aston™ 质谱分析仪通过对干泵暴露在气体浓度下的情况进行建模, 并将模型与实际泵故障相关联, 可以以高置信度预测干泵的预期运行寿命.
在恶劣的 CVD 环境中, Aston™ 利用可操作的数据预测和预防因 PV-CVD 干泵引起的灾难性故障, 能够对破坏性腐蚀或沉积进行预测建模, 优化氮气吹扫成本.
适用场景: 多个腔室连接到1个干泵, 高浓度的电介质会导致灾难性的泵故障 (一次损失 10-100 片的晶圆)
通过使用上海伯东 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™ 可以提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率, 此款质谱仪可以在新工艺腔室的组装过程中进行安装, 也可将其加装到已运行的现有腔室, 可在短时间内实现晶圆更高产量!
若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请联络上海伯东叶女士
现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士
上海伯东版权所有, 翻拷必究2022-04-22 -
免责声明
①本网刊载上述内容,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任
②若本站内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱:hezou_yiqi
-
认证会员 第 10 年
伯东企业(上海)有限公司
认证:工商信息已核实
- 产品分类
- 品牌分类
- 美国 Gel-pak 芯片包装盒
- Atonarp 过程控制质谱仪
- Europlasma 超薄等离子涂层设备
- 美国 Nor-Cal 真空元件
- 美国 ATC 空气泄漏测试仪
- 德国普发pfeiffer 氦质谱检漏仪
- 德国普发pfeiffer 气体质谱分析仪
- 德国普发pfeiffer 真空计,真空规
- 德国普发pfeiffer 分子泵
- 德国pfeiffer 旋片真空泵/干式真空泵/隔膜泵
- 德国普发pfeiffer 真空镀膜机
- KRI 考夫曼离子源
- 离子刻蚀机,电子蒸发镀膜机
- 美国 inTEST 高低温冲击测试机
- 美国 HVA 真空阀门
- 美国 inTEST 高低温测试机
- 美国 Thermonics 超低温冰水机
- 英国 NanoMagnetics 原子力显微镜
- 美国 Polycold 冷冻机
- 美国 Ambrell 感应加热电源
- (台北)矽碁
- (美国)美国inTEST- Temptronic
- (美国)美国Polycold
- (美国)美国KRI
- (德国)普发真空
- (美国)美国Ambrell
- (英国)英国纳米磁
- (美国)Thermonics
- (美国)Nor-Cal
- (美国)ATC
- (比利时)比利时Europlasma
- (英国)Gel-Pak
- (日本)Atonarp
-
仪企号
伯东企业(上海)有限公司
-
友情链接
-
手机版开启全新的世界m.yiqi.com/zt2129/