因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准
![霍尔离子源 eH 400](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/2129/Company/20230207-26284991563e1cb85518dc.png)
美国 KRI 霍尔离子源 eH 400
上海伯东代理美国原装进口 KRI 霍尔离子源 eH 400 低成本设计提供高离子电流, 霍尔离子源 eH 400 尺寸和离子能量特别适合中小型的真空系统, 可以控制较低的离子能量, 通常应用于离子辅助镀膜, 预清洗和低能量离子蚀刻.
尺寸: 直径= 3.7“ 高= 3”
放电电压 / 电流: 50-300eV / 5
操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体
KRI 霍尔离子源 eH 400 特性
• 可拆卸阳极组件 - 易于维护; 维护时, 最/大限度地减少停机时间; 即插即用备用阳极
• 宽波束高放电电流 - 均匀的蚀刻率; 刻蚀效率高; 高离子辅助镀膜 IAD 效率
• 多用途 - 适用于 Load lock / 超高真空系统
• 等离子转换和稳定的功率控制
KRI 霍尔离子源 eH 400 技术参数:
型号 | eH 400 / eH 400 LEHO |
供电 | DC magnetic confinement |
- 电压 | 40-300 V VDC |
- 离子源直径 | ~ 4 cm |
- 阳极结构 | 模块化 |
电源控制 | eHx-3005 |
配置 | - |
- 阴极中和器 | Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode |
- 离子束发散角度 | > 45° (hwhm) |
- 阳极 | 标准或 Grooved |
- 水冷 | 前板水冷 |
- 底座 | 移动或快接法兰 |
- 高度 | 3.0' |
- 直径 | 3.7' |
- 加工材料 | 金属 |
- 工艺气体 | Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors |
- 安装距离 | 6-30” |
- 自动控制 | 控制4种气体 |
* 可选: 可调角度的支架; Sidewinder
KRI 霍尔离子源 eH 400 应用领域:
• 离子辅助镀膜 IAD
• 预清洁 Load lock preclean
• In-situ preclean
• Low-energy etching
• III-V Semiconductors
• Polymer Substrates
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专/利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗先生 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯东版权所有, 翻拷必究!
尺寸: 直径= 3.7“ 高= 3”
放电电压 / 电流: 50-300eV / 5安培
操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体
KRI 霍尔离子源 eH 400 特性:
• 可拆卸阳极组件 - 易于维护; 维护时, Z大限度地减少停机时间; 即插即用备用阳极
• 宽波束高放电电流 - 均匀的蚀刻率; 刻蚀效率高; 高离子辅助镀膜 IAD 效率
• 多用途 - 适用于 Load lock / 超高真空系统
• 高效的等离子转换和稳定的功率控制
- 产品分类
- 品牌分类
- 美国 Gel-pak 芯片包装盒
- Atonarp 过程控制质谱仪
- Europlasma 超薄等离子涂层设备
- 美国 Nor-Cal 真空元件
- 美国 ATC 空气泄漏测试仪
- 德国普发pfeiffer 氦质谱检漏仪
- 德国普发pfeiffer 气体质谱分析仪
- 德国普发pfeiffer 真空计,真空规
- 德国普发pfeiffer 分子泵
- 德国pfeiffer 旋片真空泵/干式真空泵/隔膜泵
- 德国普发pfeiffer 真空镀膜机
- KRI 考夫曼离子源
- 离子刻蚀机,电子蒸发镀膜机
- 美国 inTEST 高低温冲击测试机
- 美国 HVA 真空阀门
- 美国 inTEST 高低温测试机
- 美国 Thermonics 超低温冰水机
- 英国 NanoMagnetics 原子力显微镜
- 美国 Polycold 冷冻机
- 美国 Ambrell 感应加热电源
- (美国)美国inTEST- Temptronic
- (美国)美国Polycold
- (美国)美国KRI
- (德国)普发真空
- (美国)美国Ambrell
- (英国)英国纳米磁
- (美国)Thermonics
- (美国)Nor-Cal
- (美国)ATC
- (比利时)比利时Europlasma
- (英国)Gel-Pak
- (日本)Atonarp
- (台北)矽碁
-
仪企号
伯东企业(上海)有限公司
-
友情链接