美国Lake Shore 定制探针台

√  3T或5T垂直磁场

√  2 K至420 K（最 大磁场降低至室温以上）

√  用于零场测量的可选6.5英寸直径样品座

√  样品阶段的振动小于1µm

√  最多8个样品

√  高达3 kV电压测试

√  ~3.5 K至475 K（675 K可选）

√  样品台处25 nm振动

室温真空探针台

微型可运送样品真空腔室

√   300 K至500 K（675 K可选）

√  直径2英寸的样品座，带标准探针臂和视觉选件

Lake Shore还提供了一个微型、可运送样品的真空室，能够在通过大气环境运输的过程中保持样品处于真空状态。真空室可用于在真空下将晶圆片/衬底从具有特殊环境的手套箱转移到真空或低温微操作探针台（或转移到真空室），并在测试、测量或准备后返回手套箱。这种可运输的真空室在装载和卸载时保护晶片/基板免受大气污染。

与普通的真空Load Lock不同，该真空室具有以下特点和优点：

√  典型尺寸为直径50 mm、厚度25 mm寸

√  无需闸板阀

√  操作非常方便

√  低成本

√  在不增加低温探针台基础温度的情况下安装可运送样品支架