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等离子体辅助原子层沉积系统 PEALD
  • 品牌:美国ANRIC
  • 型号: AT-400
  • 产地:美国
  • 样册:暂无
  • 供应商报价: 面议
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详细介绍

QQ截图20220707141459.png

※ 广泛应用于光学薄膜、铜互连、MEMS、TSV、高k介质 层、金属栅电极(metal gate)等应用。 

※ 原子级别的薄膜沉积。 

※ 沉积参数高度可控性:厚度、成分和结构。 

※ 优异的薄膜均匀性和一致性。 

※ 薄膜台阶覆盖率高

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