USHIO投影式全自动光刻设备

UX-4系列全自动投影式光刻设备主要运用于大尺寸的LED芯片生产和研发。同时又可以运用于半导体MEMS芯片的新品开发和大批量生产。

特点：
*最大限度的提高生产良率。（焦点深度可达±50um）
*光刻板和Wafer非接触，光罩板可以反复利用无需对光罩板进行清洗和更换。
*最大可对应到8英寸芯片的生产，1:1一次性曝光。
*设备利用率可达97%以上
*真正意义上的全自动，光罩板无需人工装载。
*产品生产切换简易。
*焦点深度可达±50um（可有效对芯片应翘曲严重和厚胶工艺）

应用：
*LED及半导体MEMS芯片的研发和生产。