等离子清洗

CE-3等离子清洗机使用空气、氧气、氩气等离子去除纳米级有机物污染，在射频电源的作用下，最大去除速率为10nm/min。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理，将对生长具有显著的作用。主要特点1、使

CE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术，采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵，清洗腔内的等离子体轻

CE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机，等离子腔体为Φ8.5"×12"的石英腔体，采用的射频电源功率0-100W连续可调节。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和

CE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为Φ160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率3.0MHz（1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体

SL-1100X-PJF-A等离子表面处理仪是一款紧凑的大气离子表面处理喷射系统，主要由射频发生器、离子束头组成。喷射的离子束流能在较低的温度和没有真空条件的环境下，迅速活化和清理材料（如单晶片、光学

SL1100X-PJF等离子表面处理仪是一种紧凑的大气离子表面处理喷射系统，主要由射频发生器、离子束头组成，喷射的离子束流能在较低的温度和非真空条件下迅速活化和清理材料表面（例如单晶片、光学元件、塑料

PCE-3等离子清洗机的等离子腔体为Ø75mm×165mm的耐热玻璃腔体，输出功率6.8W、10.5W、18W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同

EC-200是一款ZD功率可达2KW的电晕处理机，ZD处理宽度可达200mm，主要用于前级处理各种流延膜基材，本机放电电极采用陶瓷辊，除PE、PP、PEO等一般的塑料箔材外，也可用于铜箔铝箔等导电金

转瓶等离子清洗机，专为处理颗粒、粉末样品而设计。在等离子体作用下，一些材料很容易发生断键和聚合，转瓶等离子清洗机可以高效率的处理微细的甚至分子级别的超细粉末材料，改变了传统真空等离子清洗机无法处理颗

GSL-1100X-PJF-(A)等离子表面处理仪是一种紧凑的大气离子表面处理喷射系统，主要由射频发生器、离子束头组成，喷射的离子束流能在较低的温度和非真空条件下活化和清理材料表面（例如单晶片、光学

SL-1100X-PJF-A等离子表面处理仪是一款紧凑的大气离子表面处理喷射系统，主要由射频发生器、离子束头组成。喷射的离子束流能在较低的温度和没有真空条件的环境下活化和清理材料（如单晶片、光学元件、

PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机，等离子腔体为 Ø8.5"×12"的石英腔体，采用的射频电源功率0- 100W连续可调节，采用的射频为13.56MHz。本机主要是通过空气、氧气或氩气

PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术，采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵，清洗腔内的等离子

PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Ø160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率为3.0MHz（1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩