混气系统

精密液体气相发生器是针对实验室CVD实验中导入液体的系统，其液体流量是通过数字液体泵来控制，ZD流量为80ml/min，精确度为0.005ml。液体被蠕动泵导入到混气系统后，被系统里的加热装置加热成

精密氮气发生器DFN-500是一种小型高纯度气体发生器，它产生气体的速率可达到500ml/min，且气体纯度>99.99%，是化学和材料实验室的理想设备。1、无需液体和化学物质，直接采用空气产生氮气

多路浮子控制供气系统GSL-3F适用于控制一种到三种气体的通入，管式炉可以置于其上，可用于CVD系统及退火炉，可用来研究气体环境对材料的影响。1、适用于低压小流量，多种气体的单一或混合连续供气。 2

小型两通道供气系统CGM-2F是一种紧凑型双通道微量气体混合供气系统，输入的两种不同气体通过调节压力和流量，即可输出一种较准确的混合性气体，可用以小型管式炉、手套箱、等离子清洗机、小型PECVD系统

多路质量流量供气系统是用于控制一种到多种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架内，管式炉可以放在移动架上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀，可以用于CVD系统及

混气系统4路质子GSL-4Z是用于控制一种到四种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架内，管式炉可以放在移动架上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀，可以用于CV

混气系统3路质子GSL-3Z是用于控制一种到三种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架内，管式炉可以放在移动架上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀，可以用于CV

混气系统2路质子GSL-2Z是用于控制一种或两种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架内，管式炉可以放在移动架上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀，可以用于CV

GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜ZD可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。