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半导体行业解决方案之电镀液分析
发布：沃特世科技（上海）有限公司(Waters)浏览次数：55电镀液中主要成分为产生阳离子的金属盐、加速剂、抑制剂、整平剂和光亮剂等复配的添加剂配方。在利用色谱技术进行成分分析的过程中，一方面要找到合适的前处理方法来去除金属盐的影响，另一方面要对多组分分离结果的可信度进行判断。今天，小编就来推荐LC-QDa(液相色谱 - 单四极杆质谱检测器)解决方案进行电镀液有机组分分析，一起来看看吧！
图1.ACQUITY UPLC H-Class /PDA(UV)/QDa。
拥有从HPLC到UHPLC和UPLC的全面液相平台，可基于实验室分离度需求进行分离技术选择。同时结合多样化的色谱柱填料，可大大优化极性化合物、有机酸等组分的分离。
下图为合作伙伴禾川化学开发的硫酸亚锡电镀添加剂LC测试方案，分析电镀液中各组分的含量。
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图2.对苯二酚(209 ppm)、邻苯二酚(209 ppm)、苄叉丙酮(305 ppm)、TX-10(529 ppm)。 图3.对苯二酚(303 ppm)、邻苯二酚(102 ppm)、 TX-15(986 ppm)。
图4.苄叉丙酮(305 ppm)、BNO-12(201 ppm)、曲拉通X100(400 ppm)、TX-20(205 ppm)。
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基于Waters MaxPeak高性能表面色谱柱技术，解决了酸性物质等和金属表面相互作用的问题；之后，更进一步增加了混合离子交换模式，推出Premier BEH C18 AX?谱柱，很好地保留了OA等极性化合物。结合QDa特有的SIR采集功能，分析物的积分和定量分析变得轻松可靠。
图5.在11个SIR通道中检测15种有机酸标准品得到的?谱图。有机酸浓度：20 ppm。?谱柱：Atlantis Premier BEH C18 AX, 1.7 μm, 2.1 × 100 mm。峰ID：1.乳酸；2.羟基丁?酸；3.抗坏?酸；4.奎尼酸；5.琥珀酸；6.酒?酸；7.异柠檬酸；8.丙?酸；9.戊?酸；10.柠檬酸；11.富?酸；12.顺式乌头酸；13.??酸；14.莽草酸；15.?来酸。
借助QDa质谱检测器一键启动、几分钟快速实现真空、自动质量轴校正、简便易用的能力，在无需专业质谱人员并且小成本投入的情况下，即可提升液相分析的能力。
显著提升灵敏度
图6.ACQUITY UPLC H-Class/QDa进行电镀液中有机酸分析。
降低对校正标准品的依赖，多一维质谱信息来追踪峰位置，尤其对于过程控制中或使用后组分更复杂的电镀液样品。
图7.使用后的电镀液样品LC/PDA/QDa分析。
近期，推出新一代高效经济、低能耗的ACQUITY QDa II质谱检测器，进一步拓展了分析范围。 半导体行业解决方案，涵盖光刻流程中所应用到的化学品分析，从液相色谱分离到高灵敏度质谱表征以及高分辨未知成分定性，提供快速高效的色谱质谱解决方案。从小分子到大分子，从日常质控、过程放行、到配方剖析，涉及光刻胶、蚀刻液、电镀液、研磨液等多种材料分析需求。
2024-06-06 -
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