微束分析标准化，赛默飞世尔助您一臂之力

标准样品在评估检测设备性能和状态、对设备进行校准中不可或缺。对于电镜来讲，放大倍率、图像畸变等都是影响微观尺寸测量结果的重要参数，这些都需要高质量的标准样品来进行评估和校准。在如此小的尺度上对细微结构进行加工，目前最可靠的方法就是使用聚焦离子束系统（FIB）。赛默飞世尔Helios系列FIB，配备先进的Tomahawk或Phoenix离子镜筒，其独有的飞行时间（TOF）校正功能，可确保高速离子运动精度，实现无偏差的微纳加工；Helios同时搭配Elstar电子镜筒，可以实现无与伦比的成像能力，有效消除畸变、尺寸不准确对于标准样品制备的影响。

能源的清洁化让锂离子电池的需求呈爆发性增长，而先进的电极材料的研发和制造决定了锂电池的能量密度和安全性。在对电池材料进行电镜表征之前，研发和质量控制人员需要对电池样本进行拆解、切割从而暴露出感兴趣的区域（ROI）。但电极材料往往对空气极其敏感，一经暴露就会失去其本征状态，导致错误的表征结果从而让研发和质控工作变得低效。

针对这一挑战，赛默飞世尔开发了CleanConnect解决方案，使电极样品从拆解、切割、制样到SEM、TEM观察都不接触空气，保持样品本征状态。如果这一方法能够成为锂电池行业的标准方法，我们就可以在产业链中建立更高水品的数据可靠性，让大家对自己的工作成果更有信心。

无论是在金属的表面处理还是半导体硅材料的表面改性中，表面氧化层厚度的准确测量对于材料和器件性能的影响都至关重要。XPS除了作为一种表面分析工具以外，还可以利用离子枪进行逐层剥离分析（深度剖析），从而根据元素和化学态的变化推测氧化层厚度。在这一过程中，离子的刻蚀速率对于获取准确的尺寸信息至关重要。速率受仪器性能、参数、样品情况影响，必须用标准的方法使其具有重复性。所以赛默飞世尔一直在与客户合作，推进这一方法的标准化，从而让应用者获得更准确的数据。