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硅烷及其杂质的气相色谱分析
发布:杭州克柔姆色谱科技有限公司浏览次数:560制备多晶硅时,用液氨法在低温下产生的硅烷,除主成份Sil 外,尚台H 微 NH sizH BcH HzoozN:PH,以及痕量的B H 和A sH等杂质,而其中有些杂质, 如CH.H zONz等,主要由液氨带入因此,要加强原材料的分析,严格监控 艺过程 中硅烷气内的有害杂质,采取必要的纯化措施这样,将大大提高由分解炉中析出的多晶硅 质量采用气相色谱法分析硅烷及其杂质,由于它具有快速 灵敏准确进样量少等优点, 正逐步被人们采用 本文主要介绍我们工作中用来分析SIH 及其CH 氦离子化气相色谱仪
2011-01-11相关仪器 -
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