详细介绍
SpecEl-2000-VIS椭偏仪通过测量基底反射的偏振光,进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。波长范围200-900nm。SpecEl通过PC控制来实现折射率,吸光率及膜厚的测量。
集成的精确测量系统
SpecEl由一个集成的光源,一个光谱仪及两个成70°的偏光器构成,并配有一个32位操作系统的PC.该椭偏仪可测量0.1nm-5um厚的单膜,分辨率0.1nm,测量时间5-15秒,并且折射率测量可达0.005%。
配置说明
波长范围: | 380-780 nm (标准) 或450-900 nm (可选) |
光学分辨率: | 4.0 nm FWHM |
测量精度: | 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
入射角: | 70° |
膜厚: | 单透明膜1-5000 nm |
光点尺寸: | 2 mm x 4 mm (标准) 或 200 m x 400 m (可选) |
采样时间: | 3-15s (最小) |
动态记录: | 3 seconds |
机械公差 (height): | +/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0° |
膜层数: | 至多32层 |
参考: | 不用 |
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