详细介绍
HERA-DLTS
高能分辨率深能级瞬态谱(DLTS)
我们在1990年推出了第一台数字DLTS,随着电脑技术的发展,使得在短时间内进行复杂计算成为可能。在纯指数发射过程模型的基础上,用各种数学模型分析测量到的瞬态过程,如傅里叶转换、拉普拉斯转换、多指数瞬态拟合、ITS(等温瞬态光谱)信号重叠法、温度扫描信号重叠法(重折叠)。与其他系统相比,HERA-DLTS具有无法比拟的能量分辨率。
特点
l 自动接触检查
l 常规测试和加强软件
l 自动电容补偿
l 三终端FET电流瞬态测量
l 大电容和浓度范围
l 灵活性高、模块化硬件
l 支持各种冷却仓和温度控制器
l 傅里叶转换(F-DLTS),比例窗口和用户自定义校正功能
l DLTFS(深层瞬态傅里叶光谱仪)评价
操作模式
l C-DLTS(电容模式)
l CC-DLTS(定电容模式)
l I-DLTS(电流模式)
l DD-DLTS(双关联模式)
l Zerbst-DLTS
l O-DLTS(光激发模式)
l FET-Analysis
l MOS-Analysis
l ITS(等温瞬态光谱仪)
l 缺陷分析
l 俘获截面测量
l I/V, I/V(T) 查理森Plot分析
l C/V, C/V(T)
l TSC/TSCAP
l PITS(光子诱导瞬态谱)
l DLOS(特殊系统)
技术文档
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