-
银牌会员 第 9 年
上海昊量光电设备有限公司
认证:工商信息已核实
- 产品分类
- 品牌分类
- 连续激光器(CW)
- 脉冲激光器(ns/ps/fs)
- 相机系列
- 激光量测设备
- 调制器/偏转器/滤波器
- 空间光调制产品
- 信号处理与分析设备
- 光谱仪器
- 光学器件
- 晶体、光栅
- 光纤/光纤器件
- 位移台/偏转镜/隔振台
- 冷原子/量子光学产品
- 光量测设备
- 磁学测量设备
- 可调谐光源 | 宽带光源
- 电子学测试仪器
- 可调谐激光器
- 光学隔振平台
- 显微成像系统及组件
- 激光扫描光电流显微成像系统
- 激光共聚焦显微拉曼-荧光光谱成像系统
- 科研/工业成像系统
- 其他专业应用
- 光学检测设备
- 材料分析设备
- X射线产品
- THz产品
- ( 加拿大)加拿大MPB
- ( 芬兰)芬兰Modulight
- ( 美国)美国GS Plastic Optics
- ( 瑞士)瑞士Piimaging
- ( 日本)日本Kimmon
- ( 意大利)意大利Active Technologies
- ( 意大利)意大利Optogenix
- ( 美国)美国Quantum-Si
- ( 德国)德国Avenir Photonics
- ( 意大利)意大利Elements
- ( 立陶宛)立陶宛Quantum Light Ins
- ( 瑞士)瑞士SENIS AG
- ( 美国)美国必达泰克
- ( 美国)美国ALIO
- ( 德国)德国Sciospec
- ( 德国)德国XImea
- ( 美国)美国Teledyne Hastings
- ( 法国)法国iXblue
- ( 西班牙)西班牙NIT
- ( 日本)日本Artray
- ( 法国)法国PIEZOCONCEPT
- ( 美国)美国Semiconsoft
- ( 德国)奥地利Xarion
- ( 德国)德国西克
- ( 美国)美国Double Helix
- ( 德国)德国quTools
- ( 德国)德国GOM
- ( 德国)德国Asphericon
- ( 德国)德国Gigahertz-Optik
- ( 美国)美国Stable Laser Systems
- ( 美国)美国Photo Research
- ( 俄罗斯)俄罗斯OSTEC
- ( 无锡)无锡布里渊
- ( 意大利)意大利El.En.
- ( 德国)德国Yuanda Tech
- ( 德国)德国PCO
- ( 比利时)比利时Xenics
- ( 德国)德国alphalas
- ( 澳大利亚)澳大利亚Liquid
- ( 美国)美国Herzan
- ( 美国)美国TMC
- ( 昌平区)北京普源
- ( 美国)美国莱特浩斯
- ( 其它)白俄罗斯SOLAR LS
- ( 芬兰)芬兰SPECIM
- ( 法国)法国AUREA
- ( 英国)英国ForthDD
- ( 德国)德国Knick
- ( 瑞士)瑞士彩虹光电
- ( 比利时)比利时IMEC
- ( 美国)美国菲力尔
- ( 德国)德国Cycle
- ( 深圳)深圳大疆
- ( 其它)爱沙尼亚beecher
- ( 德国)德国greateyes
- ( 法国)法国Qiova
- ( 美国)美国Swamp Optics
- ( 法国)法国Leukos
- ( 瑞士)瑞士NKT Photonics
- ( 俄罗斯)俄罗斯阿维斯塔
- ( 美国)美国Calmar
- ( 法国)法国Manlight
- ( 法国)法国BKtel Photonics
- ( 俄罗斯)俄罗斯TekhnoScan
- ( 美国)美国REO
- ( 法国)法国ISP
- ( 法国)法国Photline Technologies
- ( 美国)美国BNS
- ( 法国)法国Resolution Spectra System
- ( 法国)法国Phasics
- ( 德国)德国VIALUX
- ( 英国)英国ForthDD
- ( 日本)日本吉奥马
- ( 法国)法国Alpao
- ( 美国)美国CTI
- ( 法国)法国Silios
- ( 英国)英国Covesion
- ( 美国)美国New Scale Technologies
- ( 法国)法国IXFiber
- ( 德国)德国TEM Messtechnik
- ( 德国)德国CeramOptec
- ( 荷兰)荷兰Admesy
- ( 立陶宛)立陶宛OptoGama
- ( 德国)德国PROTECT
- ( 芬兰)芬兰Spectral Engines
- ( 澳大利亚)澳大利亚MOGLabs
- ( 挪威)挪威Zivid
- ( 瑞士)瑞士Arcoptix
- ( 美国)美国Chroma
- ( 德国)德国Greateye
- ( 日本)日本Meiritz
- ( 加拿大)加拿大INO
- ( 美国)美国MinusK
- ( 法国)法国GLOphotonics
- ( 日本)日本NEOARK
- ( 瑞士)瑞士苏黎世仪器
- ( 美国)美国Optromix QSY
- ( 匈牙利)匈牙利CE Optics
- ( 法国)法国PHOTONICS BRETAGNE
- ( 法国)法国Cristal Laser SA
- ( 加拿大)加拿大Photon etc
- ( 法国)法国Oxxius
- ( 美国)美国ConOptics
- ( 俄罗斯)俄罗斯Scontel
- ( 韩国)韩国Nanobase
- ( 德国)德国INSION
- ( 英国)英国Gooch&Housego
- ( 德国)德国Cinogy
- ( 美国)美国Meadowlark Optics
- ( 美国)美国Hinds
- ( 德国)德国TEM
- ( 浦东新区)美国CTI/Crystal Technology Inc
- ( 浦东新区)吉奥马/GEOMATEC
- ( 浦东新区)Japan Cell
- ( 美国)Vixar
- ( 美国)美国OptiGrate
- ( 浦东新区)PowerPhotonic
- ( 浦东新区)Point-Source
- ( 浦东新区)古奇/Gooch&Housego
- ( 意大利)意大利Bright Solutions
- ( 浦东新区)LC-Tec
- ( 浦东新区)Green TEG
- ( 浦东新区)Zurich Instruments
- ( 美国)Pranalytica
- ( 浦东新区)SourceLAB
- ( 徐汇区)昊量/auniontech
- ( 德国)Qioptiq
- ( 浦东新区)Photon etc/photon etc
- ( 浦东新区)ISP公司/ISP
- ( 法国)SPARK LASERS
-
仪企号上海昊量光电设备有限公司
-
友情链接
品牌: | 昊量/auniontech | 型号: | MProbe |
膜厚测量仪-
MPROBE - MAKING THIN FILMS THICKNESS MEASUREMENT EASY
美国Semisonsoft公司MProbe系列薄膜测厚仪测量厚度可以低至1nm,厚至1.8mm,埃级分辨率,非接触式无损快速测量。广泛应用在各种生产或研究中,比如测量薄膜太阳能电池的CIGS层,触摸屏中的ITO层等。大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。
测量原理:当指定波长范围的光照射到薄膜上时,从不同界面上反射的光相位不同,从而引起干涉导致强度相长或相消。而这种强度的振荡是与薄膜的结构相关的。通过对这种振荡拟合和傅里叶变换就可获得样品厚度和相关的光学常数。
比如:
半导体(硅,单晶硅,多晶硅)
半导体化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS)
微电子机械(MEMS)
氧化物/氮化物
光刻胶
硬涂层(碳化硅,类金刚石炭)
聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)
高分子聚合物
MProbe膜厚测量仪操作简单,只需一键操作即可获得样品的厚度、折射率(n, k)和表面粗糙度等信息,膜厚测量设备可支持不同光谱范围,光谱范围可达200-1700nm,因此可测量厚度范围可从1nm到2mm。 设备中无移动组件,所以测量结果几乎是即时得到的;TFCompanion测量软件使得测量过程非常简单且透明,测量历史、动态测量、模拟、颜色分析、直接在样品图像上显示结果。
膜厚测量仪分类:
1、单点膜厚测量——MPROBE-20
MPROBE-20膜厚测量仪是一款台式单点膜厚测量设备,设备操作简单,一键获得样品的厚度和折射率,并可提供不同波段范围(适用于不同厚度薄膜)选择。MPROBE-20具有以下几种型号,客户可根据自己所需的波长范围和薄膜厚度进行选择。
可供选择型号:
型号 | 波长范围 | 核心配置 | 厚度范围 |
VIS | 200nm -1100nm | F3 Ariel Spectrometer, 2048/4096 pix cmos, 16 bit ADC, 5W Tungsten-Halogen lamp | 10nm – 75 μm |
UVVISSR | 700nm -1100nm | F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp | 1nm -75μm |
VIS-HR | 900nm-1700nm | F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC, 5W TH lamp | 1μm-400μm |
NIR | 200nm-800nm | F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp | 50nm – 85μm |
UVVisF | 200nm -1700nm | F4 spectrometer, Si detector 2048 pixels ccd, 16 bit ADC, 10W Xe flash lamp | 1nm – 5μm |
UVVISNIR | 1500nm-1550nm | F4 Spectrometer, 2048pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp. F4spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp | 1nm -75μm |
NIRHR | 200nm -1100nm | F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp or SLDoption | 10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si) |
2、单点手持膜厚测量——MPROBE HC
MPROBE HC膜厚测量仪是一款基于MPROBE-20平台开发专用于测量曲面和大型零件上的涂层,用手动探针代替样品台。
主要参数:
精度 | 0.01nm或0.01% |
准确度 | 0.2%或1nm |
稳定性 | 0.02nm或0.03% |
聚焦点尺寸 | 0.2mm或0.4mm |
样品尺寸 | >25mm |
厚度范围 | 0.05-70um |
3、聚焦光斑膜厚测量仪——MPROBE 40
MPROBE 40是一款聚焦的小光斑膜厚测量系统,该产品将显微系统和膜厚测量设备结合起来,用于对膜厚的微区测量,光斑可达2μm。该设备集成相机和软件,可精确显示待测位置,并同时显示测量结果。
该设备有不同波长范围可选,可供选择的产品型号如下:
4、原位测量膜厚测量仪——MPROBE 50 INSITU
MPROBE 50 INSITU是一款支持原位测量膜厚测量仪,该设备采用门控数据采集方式因此可以在高环境光的条件下工作。此外该型号膜厚测量仪支持定制以满足不同形状的真空腔。根据可用的光学窗口,支持斜入射和垂直入射。光线可以聚焦样品表面或准直,探测探头可以放置在沉积室光学端口内部或外部,由于该膜厚测量仪没有移动部件,通常测量时间约10ms。
此外该型号还有多种波段范围可选,可供选择型号如下
5、支持Mapping的聚焦膜厚测量仪——MPROBE 60
MPROBE 60是一款聚焦并可做mapping的膜厚测量设备,重复精度可达0.01nm,精度可达1nm,mapping面积可达300*300mm。并支持多种波长范围可选。
可选波长型号:
6、在线膜厚测量仪——MProbe 70
MProbe 70是一款高性能膜厚测量仪,主要设计用于24/7生产线上的连续测量。该设备主要有两种配置一个是在产线上配备多个固定的探头,第二种是将探头装在扫描仪上扫描。