皮米精度位移激光干涉仪

昊量光电推出的皮米精度位移干涉测量仪quDIS是对纳米级别的位移波动进行量测的理想仪器，基于其独特的测量原理，相对距离的重复精度达到了前所未有的50皮米。quDIS可同时支持三个测量通道，使其可以适用于任意的多轴测量中。quDIS在原理上同样采用激光干涉法，不过与传统激光干涉仪相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及饱和吸收气室（GC）作为频率校准参考，通过激光波长调谐扫描，比较两种不同的干涉图样，可以实现其它设备所不具有的JD距离测量，基于这种测量方式，使得quDIS相对其他产品测量距离可以达到20M的同时保持高精度，且与信号对比度和强度无关，由于使用整个干涉模式来提取位移信息，因此不存在非线性误差。此外，quDIS不仅可以获得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面倾斜度等信息也可以从实时信号中提取得到。

             独特的法珀腔+饱和吸收气室构造                               波长的线性变化的引入在此构造下使得JD距离的测量成为可能！

干涉传感头

       激光束的成型是通过不同的传感器头来实现的，根据反射目标的不同，不同的应用都需要不同的准直、聚焦和光束剖面约束。quDIS的传感器头均基于光纤设计。quDIS为常规情况下的使用提供标准准直仪和定焦传感头，同时根据具体的需要以及恶劣环境下的应用，也设计了响应的特殊传感头。

 用于测量高温漂移物体的传感器头的设计                                        

 镍铁合金制造的低热膨胀系数准

皮米精度位移激光干涉仪产品特点

•  多维度多通道位移干涉器，操作简单，即插即用

•  相对距离和JD距离测量

•  完善的全套系统配置

•  实时输出数字化图像

•  针对不同应用提供各种传感接头及反射模块组合解决方案

•  长期使用保证稳定性

•  兼容真空与各种恶劣环境

皮米精度位移激光干涉仪独特优势：

•  JD距离高精度测量！

•  不存在非线性及周期性误差！

•  相对距离信号稳定性<0.05nm！

•  工作距离20m（与传感头相关）

•  目标速度1m/s

•  三个传感接口，可实现多设备同步

•  探测器分辨率达到1pm

  
  

皮米精度位移激光干涉仪应用领域：

•   极限环境下振动分析

•   缓慢漂移及热膨胀检测

•   精密设备位置控制

•   纳米级位移测量

•   层状结构中间隙和边缘的测量

•   位移和振动精度评估

皮米精度位置测量仪参数列表：