具体应用领域:
产品特点
◆ 采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶均匀。
◆ 7 寸全彩中英文互动操作触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配 10 个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置) ,可 选配 20 个可编程程序,每个程序下可设置 10 个匀胶梯度阶段,最多 100 个阶段。
◆ 内置水平校准装置,大限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。
◆ 多重安全保护电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全;盖子自锁功能,防止飞片盖弹开伤人;
双重安全上盖,聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,大限度保证实验人员安全。
◆ 样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护,有效降低电机进胶的风险。
◆ 一机两用,根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。
◆ 符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计,取放样品更方便。
◆ 不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,旋涂腔体采用 PTFE 材料。旋涂托盘采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸碱防腐蚀,保证仪器 在苛刻条件下仍能正常运行。
◆ 上下双腔体设计,较大的上腔体便于擦拭去除胶液,锥形下腔体结构设计便于收集胶液,并带废胶收集装置。
◆ 可选氮气吹扫、氮气保护,自动滴胶或简易滴胶装置,提供更多的操作便利性。
◆ 适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP 等多种材料。
技术参数
型号 | MSC | SC1 | SC2 |
转速 | 0-10000rpm | 0-10000rpm | 0-10000rpm |
加速度 | 0-10000rpm/s | 0-10000rpm/s | 0-10000rpm/s |
转速稳定度 | ±1% | ±1% | ±1% |
匀胶时间 | 0-9999s | 0-9999s | 0-9999s |
工作舱直径 | 直径 180mm | 直径 180mm | 直径 240mm |
基片尺寸 | 圆片 Φ=6 吋,方片最 105x105mm | 圆片 Φ=6 吋,方片最 105x105mm | 圆片 Φ=8 吋,方片最 140x140mm |
外型尺寸 | L245xW325xH215mm | L245xW325xH285mm | L305xW385xH285mm |
包装尺寸 | L365xW445xH335mm | L365xW445xH405mm | L425xW505xH405mm |
整机重量 | 6.3Kg | 7.6Kg | 11.6Kg |