紫外臭氧清洗机(UVOzone Cleaner, UVO),是一种简单,经济,快速高效的材料表面清洗设备,能快速去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)表面上的有机污染物。
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