配置参数如下：

2 仪器尺寸 ： 400mm×320mm×450mm（L×W×H）

2 真空样品室： 硼硅酸盐玻璃 170mm×200mm（D×H）

2 操作真空： 2×10^-2mbar

2 工作电压： 0-10V /AC可调

2 蒸碳电流 0-80A

2 真空泵： 2升两级机械旋转泵