美国NANONEX/Nanonex

NANONEX公司由纳米压印的发明 人 STEPHEN Y. CHOU教授院士（美国工程学院院士）于1999年创立。NANONEX公司提供从各种纳米压印机到纳米压印胶和模版的全套纳米压印方案 ，具备低成本，高通量，大面积，三维纳米压印，亚10纳米分辨率，精确的对准等无与伦比的技术和质量优势。NANONEX提供全部纳米压印方案（热固化、紫外固化和压印）。NANONEX专利保护的双面气垫软压技术（ACP）具备独特的优势：不论模版或基板背面粗糙程度如何，或是模版或基板表面波浪和弧形结构，NANONEX压印机均可对其校正补偿从而获得无与伦比的压印均匀性。ACP消除了基板与模版之间侧向偏移，有效地延长了模版使用寿命。NANONEX的最小热容设计可获得快速的热压印周期，最终得到快速的工艺循环。基于超过12年、15代产品研发经验的自动化压印操作，NANONEX压印系统经过大量实时实地验证，质量可靠，性能