KLA白光共聚焦显微镜轮廓仪ZETA-20

Zeta-20 三维光学轮廓仪的典型应用：

•MEMS（微机电系统）•光伏太阳能电池•微流体设备•数据存储磁盘倒边•激光打孔•半导体晶圆级芯片级封装

可以进行表面粗糙度测量，缺陷检测，膜厚测量等多种功能。

多功能光学测试模组

•*ZDot点阵三维成像技术与强大的算法相结合，轻易获得各种样品表面信息生成高分辨率 3D 数据。

•ZIC 干涉反衬成像技术，实现纳米级粗糙度表面的成像及分析。

•ZSI 白光差分干涉技术，垂直方向分辨率可达埃级。

•ZX5 白光干涉技术，大视场下纳米级高度的理想测量技术。

•ZFT 反射光谱膜厚分析技术，集成宽频反射光谱分析仪，可测量 薄膜材料的厚度、折射率和反射率。

Zeta-20三维光学轮廓仪优点：

•多功能——能够在任何表面上进行多次测量

•特定应用软件和算法

•对振动和样品倾斜不敏感

•高光通量设计——实现其他系统无法进行的测量

•易于使用——用户可以快速启动和运行

混合反射率表面测量：在太阳能电池表面氮化物涂层上的银。银反射率大于90%，氮化物反射率小于1%，两者反射率差非常大，Zeta-20高动态范围可轻松测量混合反射率表面。

激光切割：测量 LED 设备上激光切割的深度。在非常低的对比度，高粗糙度的表面测量。 测量空腔边缘的材料堆积，以确定它是否已流出划线区域并流入 LED 器件的有源 区域。