详细介绍
Zeta-20 三维光学轮廓仪的典型应用:
•MEMS(微机电系统)•光伏太阳能电池•微流体设备•数据存储磁盘倒边•激光打孔•半导体晶圆级芯片级封装
可以进行表面粗糙度测量,缺陷检测,膜厚测量等多种功能。
多功能光学测试模组
•*ZDot点阵三维成像技术与强大的算法相结合,轻易获得各种样品表面信息生成高分辨率 3D 数据。
•ZIC 干涉反衬成像技术,实现纳米级粗糙度表面的成像及分析。
•ZSI 白光差分干涉技术,垂直方向分辨率可达埃级。
•ZX5 白光干涉技术,大视场下纳米级高度的理想测量技术。
•ZFT 反射光谱膜厚分析技术,集成宽频反射光谱分析仪,可测量 薄膜材料的厚度、折射率和反射率。
Zeta-20三维光学轮廓仪优点:
•多功能——能够在任何表面上进行多次测量
•特定应用软件和算法
•对振动和样品倾斜不敏感
•高光通量设计——实现其他系统无法进行的测量
•易于使用——用户可以快速启动和运行
混合反射率表面测量:在太阳能电池表面氮化物涂层上的银。银反射率大于90%,氮化物反射率小于1%,两者反射率差非常大,Zeta-20高动态范围可轻松测量混合反射率表面。
激光切割:测量 LED 设备上激光切割的深度。在非常低的对比度,高粗糙度的表面测量。 测量空腔边缘的材料堆积,以确定它是否已流出划线区域并流入 LED 器件的有源 区域。
产品优势
非接触式优点就是测量装置探测部分不与被测表面的直接接触,保护了测量装置,同时避免了与测量装置直接接触引入的测量误差。
Zeta-20三维光学轮廓仪集成了六种光学计量技术。 ZDot 测量模式同时采集高分辨率 3D 扫描和真彩色无限对焦图像。其他测量技术包括白光干涉法、Nomarski 干涉对比显微镜和剪切干涉法。 Zeta-20 也可用于样品审查或自动缺陷检测。
Zeta-20三维光学轮廓仪集成了六种光学计量技术。 ZDot 测量模式同时采集高分辨率 3D 扫描和真彩色无限对焦图像。其他测量技术包括白光干涉法、Nomarski 干涉对比显微镜和剪切干涉法。 Zeta-20 也可用于样品审查或自动缺陷检测。
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上海纳腾仪器有限公司
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