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VACUUBRAND今日故事分享——低温泵的再生
发布：普兰德（上海）贸易有限公司浏览次数：18在我们开始讲"再生"故事之前，先来认识一位新朋友~ 今天的主人公 姓名：lemens Todt
职业：瑞士联邦理工学院（ETH）固态物理实验室的博士生 导师：Wegscheider教授 研究主题：用于制造III/V半导体异质结构的晶体生长材料 研究重点：半导体与超导体的相互作用 应用方向：优化量子计算机的性能 今天，小编和lemens Todt 进行了一场面对面交流，给大家讲讲实验过程中新奇的小故事~
Q Hi,lemens Todt,先和大家分享一下你研究的主题吧~ Todt: 我们研究小组目前从事于晶体生长的材料，主要用来制造III/V半导体异质结构。
其中二维电子气可是我们的专长~至于我的研究重点是半导体与超导体的相互作用，其结果可能对量子计算机产生很重要的影响。
Q 什么是半导体异质结构? Todt: 半导体异质结构是一种特殊的半导体结构，它是由两层以上不同的半导体材料薄膜依次沉积在同一基座上形成，这些材料具有不同的能带隙。
Q 那在实验中使用什么样的方法来制造半导体异质结构呢？ Todt: 对于半导体异质结构，我们使用分子束外延（MBE）生长方法——一种物理气相沉积工艺。使用此方法的显著优势是：可以利用原子精度生长不同材料的复杂层序列。这种方法适用于低熔点金属，如铟或镓。它们被蒸发后在真空环境下，在载体层（称为衬底或晶片）的表面形成定向分子流。一个原子接一个原子以所需的结构沉积在晶片上并结晶成薄膜。
而在我研究的领域内，超导层是以铌为基础的。这种金属的熔点极高，高达2500°C。在这个过程中，整个系统升温，外来原子从钢中扩散出来。因此，样品可能会在这个过程中损坏。随后，我们决定使用另一种沉积工艺————磁控溅射。在这个工艺中，金属被放置在一个腔室中，我们向其中注入氩气。在1 x 10-3 mbar至5 x 10-2mbar的压力下，点燃氩气等离子体。氩离子撞击涂层材料的表面，这些被敲除的颗粒然后迁移到晶片上并沉积。
而在这个环节中，真空泵发挥了很重要的作用。
Q 可以讲讲真空泵在其中的作用吗？ Todt: 首先，我建造了一个新的磁控溅射系统（骄傲脸），虽然很有挑战性，但这让人兴奋！
其次，我们亲自组装了低温泵，低温真空泵属于吸附泵，也是气体结合泵，该泵以1500 L/s的速度从磁控溅射系统中吸入氩气。在泵内部，表面被冷却到几开尔文，分子和原子可以像在冰箱里一样凝结在上面。一旦低温泵“满载”，就必须对其进行再生。接着，另一个真空泵开始发挥作用——前置泵。在此过程中，气体通过前置泵释放并泵出，当低温泵被抽空时，泵和腔室必须达到必要的真空度，在该真空度下低温泵可以再次冷却。
Q 听起来低温泵的再生很重要，为什么呢？ Todt: 我们期望得到尽可能纯净的产物，当低温泵再生时，来自前置泵的污染物可能会进入系统中，例如空气中的水、油等。我们希望使用绝对干净的前置泵来避免这些污染。
过去，我们为此测试了各种技术：我们尝试使用涡轮泵作为前置泵。但是涡轮泵的轴承会随着时间的推移因振动而损坏。所以我们尝试了螺杆泵VACUU·PURE10。
Q VACUU·PURE是如何成功的？ Todt:首先，我们精确地研究螺杆泵VACUU·PURE 10是否可以在我们的工厂使用。其次，我们正在寻找一种坚固耐用且高纯度的真空泵：其基本压力必须至少为10-2 mbar。此外，需要足够大的抽速来处理从低温泵逸出的气体。当然，同样重要的是，它是绝对无油和无颗粒的。
VACUU·PURE符合所有这些要求。我们在低温泵的试验箱上测试了该泵。螺杆泵没有出现故障。并且从质谱仪中看到，它没有将油和其他碳氢化合物或磨损带入系统。
磁控溅射系统上的VACUU·PURE?螺杆泵
一起再认识下VACUU·PURE 10^-3mbar的极限真空
最大抽度为10 m3/h
100%无油，不含碳氢化合物
无磨损，无颗粒
非常适合低温泵的再生
适用于泵送氩气等轻质气体
设计紧凑
方便移动
远程操作
选择VACUUBRAND螺杆泵，让你的实验和Todt的实验一样无忧无虑。
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VACUUBRAND GMBH + CO KG的总部位于德国韦特海姆（Wertheim），具有丰富的设计及制造真空泵的经验。作为真空领域的领导品牌，公司致力于新技术的不断拓展，使产品具有最完备性能及最佳性价比。我们提供一系列独特的以客户为导向的实验室级真空泵、真空规/控制器，可应用于粗真空及中真空领域。产品线包括旋叶泵、隔膜泵、化学防腐泵组、化学防腐隔膜泵、真空计、真空控制器、真空阀及配件和VACUU·LAN? 真空系统。
官网：vacuubrand.com.cn 电话：021-64222318 邮箱：info@brand.com.cn 化学1
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