KOSAKA LAB ET 4000台阶仪(探针接触式轮廓仪/微细形状测定机)（Microfigure Measuring Instrument）

产品介绍
株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年创立的公司，也是日本第一家发表光学干杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。ET4000系列中，有ET4000A(多动能、自动化、可添加一款3D软件，扫出测量表面的3D形貌) ，ET4000L(完全自动化的,针对体积较大的样品可与大型精密贵重玻璃或晶片尺寸样品) ，ET4000M(Y轴方向手动移动、性价比高、易于使用) ，常用的是ET4000A。ET4000系列具有良好的稳定性、高精度和强大的功能。在平板显示器FPD，晶片，硬盘和其他纳米尺度上的应用广泛。

主要特点：
（1）的台阶再现性与线性度。
（2）超高真直度，可确保量测图形不受任何影响，并可在真直度的保证下进行长距离测量。
（3）采用超低噪音直动式 LVDT，超低测定力的触针可任意调节。
（4）配备高分辨率的 CCD 即时进行高精度定位测量。
（5）可对应各种国际规范，测定参数多达 60 多种。
（6）适用于各种与纳米材料有关的MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。

技术参数
一、测定工件：
1. 最大工件尺寸 210 × 210 mm to 300 × 400 mm
2. 最大工件厚度 50mm
3. 最大工件重量 2kg

二、检出器（pick up）：
1. Z 方向测定范围 Max. 100μm
2. Z 方向分解能 0.1nm
3. 测定力 0.5 μN to 500 μN
4. 触针半径 0.5 , 2 μm
5. 驱动方式 直动式

三、X 轴 (基准轴)：
1. 移动量(最大测长) 100mm
2. 移动的真直度 0.005μm/5mm
3. 测定速度 0.005 ~ 2mm/S
4. 位置定位时速度 Max. 10mm/S
5. 线性尺(linar scale) 分解能 0.01μm
6. 位置定位再现性 ± 5μm
7. 滑轨 材质为在铸铁(CD-5)上,镀上硬质 Cr,无润滑(于移动台侧,使用铁弗龙折动材料)
8. 驱动 DC motor + Dynamic belt

四、Y 轴(位置决定用)：
1. 移动量 52mm
2. 移动速度 max.3mm/S
3. 滑轨 Crose roller 滑轨
4. 驱动 DC motor + 滚珠螺杆(P=2mm)
5. 检出器自动停止机能

五、工件台：
1. 工件台尺寸 210mm×210mm
2. 自动倾斜量 X: ± 1mm/150mm Y: ± 1mm/186mm
3. 分解能 0.25μm
4. 驱动 pulse motor

六、全自动量测功能
七、工件观察 max. 80倍(可选购其它高倍率 CCD)
八、床台 材质为花岗岩石
九、段差测定再现性 1δ, 5A°以内
十、防振台(选购) 落地型或桌上型
十一、电源 AC100V±10%,50/60HZ,800VA
十二、本体外观尺寸 W660×D580×H660mm(不含防震台)