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连续在线监测低至15 ppt的硼
多流路选项——最多四个样品流
丰富的输出选择——四个独立的4-20 mA输出，一个独立的RS-232，一个通用并行打印机端口，两个报警输出和四个独立的二进制输出
最少的维护与耗材需求
配件包包含安装所需的配件
半导体超纯工艺水
超纯水电力应用
详细介绍
Sievers 超纯水硼分析仪
借助Sievers 超纯水硼分析仪对硼进行持续的在线监测
借助Sievers 超纯水硼分析仪对硼进行持续的在线监测
Sievers硼分析仪可用于去离子超纯水应用，实现对超低硼含量的连续自动在线监测。该分析仪每小时能够检测10个样品，具有15 ppt硼的检测极限（LOD）。Sievers硼分析仪设计用于满足设备管理人员、去离子水工程师和晶圆制造工程师的需求。
硼分析仪的特点与优势
在极具挑战的应用中提供更高的可靠性和更长的正常运行时间
应用
硼分析仪规格
运行规格 | |
|---|---|
| 浓度范围 | 0.015至20 ppb B |
| 检测限（LOD） | 0.015 ppb B |
| 准确度 | ± 0.01 ppb B <0.05 ppb B ± 15% >0.05 ppb B |
| 精确度 | ± 3%或0.005 ppb B（以较高者为准） |
| 最小样品 电阻率 | 15 megaohms–cm |
| 样品温度 | 15°-40°C |
| 样品流速 | 0.1 -0.5 L/分钟 |
| 环境温度 | 10°C–40°C |
| 样品压力 | 20-100 psig（138-689 kPa） |
| 校准稳定性 | 通常12个月 |
| 样品颗粒 | 15微米样品预过滤 |
| 废物 | 重力排放（无背压） |
仪器规格 | |
| 输入 | 5个隔离二进制输入 |
| 输出 | 4个独立4-20 mA输出，1个独立RS-232，1个通用并行打印机端口，2个报警输出，4个独立二进制输出 |
| 尺寸 | 20.625 H x 17.25 W x 12.25 D英寸（53 x 44 x 31 cm） |
| 重量 | 48 lbs（22kg） |
| 认证 | CE（点击此处获取符合性声明） |
耗材 | |
| 硼试剂 | 90天（12分钟取样率） 45天（6.5分钟取样率） |
| 试剂柱 | 12个月 |
| 零柱 | 12个月 |
产品优势
易于操作和维护
Sievers硼分析仪可以预测混床失效、优化EDI性能并控制抛光循环水的硼水平。这款硼分析仪可以在二氧化硅释放前检测到硼含量的增加，这有助于防止二氧化硅渗漏到超纯水中。Sievers硼分析仪可显著降低运营成本，保持超纯水系统的质量。
Sievers硼分析仪可以预测混床失效、优化EDI性能并控制抛光循环水的硼水平。这款硼分析仪可以在二氧化硅释放前检测到硼含量的增加，这有助于防止二氧化硅渗漏到超纯水中。Sievers硼分析仪可显著降低运营成本，保持超纯水系统的质量。
技术文档
