HERZ 减震台/防震台/隔振台AVI-400XL

减震台/防震台/隔振台AVI-400XL

品牌：HERZ

型号：AVI-400XL

用途：为各类透射式电子显微镜(TEM)主动主动防振台、扫描式电子显微镜(SEM)主动防振台、发射式电子显微镜主动防振台、探针显微镜主动防振台、扫描隧道显微镜防震台、原子力显微镜（AFM）防振台、横向力显微镜防振台。

主动防振台产品亮点： 

六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振)

5-20ms响应时间                                                                   

低频隔振性能优异,安装和使用简单

系统主动检测输入振动并动态消除

紧凑、模块化的多功能设计

稳定性高，能无故障连续使用多年

无低频共振、无空气要求

应用范围：

超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）

光刻工具

高精度计量工具

光谱仪器

升级选项：

可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。

技术参数：

型号：AVI-400XL/LP

系统配置：独立隔振装置 & 控制装置

主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz

被动隔振范围:大致为200 Hz以上

显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。

LEDs 指示输出阶段的过载情况。

单元尺寸(每个):230 x 856 x 112.5 Hmm

控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm

隔振单元重量: 24kg

负载能力:800 kg (同等/低zhong心)

输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

功耗：通常18W

温度范围：5℃ - 40℃

相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)

室内/室外使用：仅用于室内

主动防振台隔振效果：

性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。