详细介绍
品牌：Ecopia；
型号：EPS-1000；
EPS-1000为韩国Ecopia的手动探针台型号，适合科研及半导体微电子器件的失效分析。
产品规格：
- 镀金真空样品吸盘：4", 6", 8" etc；
- 样品尺寸：5x5mm ~ 4", 6", 8" etc；
- 样品卡盘平整度：10um；
- 探针座精度：0.7um；
- 样品卡盘旋转(Phi)：360度；
-探针台台面快速升降；
- 探针锁位设计，防止回针；
可选附件：
- 显微镜X/Y移动；
- CCD视频镜头；
- 加热台；
- 黑箱、屏蔽箱；
- 防振平台；
- 高倍显微镜 (2000X)；
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参考用户：
四川大学、哈工大、ZG海洋大学、华中师范大学、南京大学、湖北大学、东北电力大学、中科院宁波材料所等.
技术文档
