Park NX20 失效分析的理想选择

低噪声XYZ闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。

借助驱动样品台，可编程步进扫描，多区域成像，以下是它的工作流程：

1) 扫描成像
2) 抬起悬臂
3) 移动驱动平台到设定位置
4) 进针
5) 重复扫描

该自动化功能可大大减少扫描过程中人工移动样品所需时间，从而缩短测试时间，提高生产率。

您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜扫描头。该设计可将扫描头自动锁定至预对准的位置，无需调节激光位置，激光自动投射在针尖上。借助于四象限检测器，显微镜可精确成像并准确测定力.距离曲线。

您只需要将可选模块插入扩展槽，您便可激活高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块化设计，其产品线的配置兼容性大大提高。

所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理的。该控制器是全数字、24位高速控制器，可确保Park 真正非接触模式下的成像精度和速度。凭借着低噪声设计和高速处理单元，该控制器是纳米级成像和精确电压电流测量的绝 佳选择。嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能，更好的解决方案，是资 深研究院的理想选择。

XY.Z轴检测器的24位信号分辨率
• XY轴(50 μm)的分辨率可低至0.003 nm

• Z轴(15 μm)的分辨率可低至0.001 nm

嵌入式数字信号处理功能
• 三个锁相放大器
• 探针弹簧系数校准

• 数据Q控制

集成式信号端口
• 专用可编程信号输入/输出端口

• 7个输入端口和3个输出端口

高强度压电堆栈和挠性设计，标准Z轴扫描器的共振频率高达9kHz(一般为10.5kHz）且探针的Z轴扫描速率不低于48 mm/秒。Z轴扫描范围可从标准的15 µm扩展至30 µm（可另选Z扫描头）。

编码器可用于所有自动样品载台，并可保证更高的重复定位精度，从而可更精 准地控制样品测量位置。XY马达运动工作时分辨率为1 µm，重复率为2 µm。Z马达运动的分辨率为0.1 µm，重复率为1 µm。

借助创新的镜头设计，用户可从侧面操作控样品和探针。根据XY轴样品台所设定的行程范围，用户在样品台上可放置的大样品体积直径可高达200 mm。

定制物镜配有超长工作距离（51 mm，0.21的数值孔径，1.0 µm的分辨率），带来超高的镜头清晰度。

同轴光源设计让用户可轻易地在样品表面寻找测试区域，物镜分辨率为0.7  µm。得益于CCD的高端传感器，在获得较大视场的同时，分辨率却不受影响。由软件控制的LED光源能为样品表面提供足够的照明，便于清晰观察样品。

高度限行Z轴移动和聚焦系统，可以得到清晰的视野和图像，用户通过软件界面进行操作，由高精度步进电机驱动，即使液体或者透明样品也可快速找到样品表面。