通过对比重复扫描情况下探针尖 端的形状变化,您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。
借助真正非接触模式,探针尖端在扫描氮化铬样品(即探针检测样品)200次后仍可保持锋利的状态。氮化铬的表面粗糙且研磨性强,会让普通的探针很快变钝。
使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。
在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm。
没有前沿或后沿过冲现象
终身无需校准,减少设备维护成本
比传统的扫描式电容显微镜(SCM)扫描速度快十倍
信号灵敏度、空间分辨率和数据精 准度不受影响
业内超低的电流噪声(0.1 pA)
业内超大的电流(10 μA)
巨大的增益范围(7个数量级,103-109)
真正非接触模式
动态力模式
导电原子力显微镜 (ULCA和VECA)
静电力显微镜 (EFM)
压电力显微镜 (PFM)
扫描电容显微镜 (SCM)
扫描开尔文探针显微镜 (SKPM)
扫描电阻显微镜 (SSRM)
扫描隧道显微镜 (STM)
力调制显微镜 (FMM)
力.距离(FD) 曲线
力谱成像
侧向力显微镜 (LFM)
纳米刻蚀
相位成像
相位成像
ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor
DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning
Maximum data size : 4096 x 4096 pixels
仪器分类: | 其它 |
概览
引领用于故障分析和大型样品研究的纳米计量工具
作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器,其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许有错误的存在。Park NX20,这款高精密的大型样品原子力显微镜,凭借着数据的准确性,在半导体和硬盘行业中大受赞扬。
全面多样的分析功能
Park NX20可快速帮助客户找到产品失效的原因,并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。高精密度可为用户带来高分辨率数据,让用户能够更加专注于工作。与此同时,非接触扫描模式让探针针尖更锋利、更耐用,无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。
即便是刚接触原子显微镜的工程师也易于操作
Park NX20拥有业界便捷的设计和自动界面,让你在使用时无需花费大量的时间和精力,也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点,您可以更加专注于解决更为重大的问题,并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。
技术信息
为FA和研究实验室提供精 准的形貌测量解决方案
样品侧壁三维结构测量
![3D-wall](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a49599b42.png)
NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面,并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必需的。
对样品和基片进行表面光洁度测量
![surface-roughness](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a495b2986.png)
高分辨率电子扫描模式
QuickStep SCM
超快的扫描式电容显微镜
PinPoint AFM
无摩擦导电原子力显微镜
多种创新且创新的专 利技术帮助顾客减少测试时间
![Tip Wearing Experiment with CrN Sample](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a495ec431.png)
![ETD-Non-Contact](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a496119d8.png)
低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌
超低噪声Z探测器,噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精 准样品形貌成像,没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。
![no-creep-effect](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a4962e163.png)
![creep-effect](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a49643aab.png)
Park NX20特点
![position-sensors](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a4965676d.png)
低噪声XYZ闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。
借助驱动样品台,可编程步进扫描,多区域成像,以下是它的工作流程:
![Step-and-Scan](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a4966ba36.png)
1) 扫描成像
2) 抬起悬臂
3) 移动驱动平台到设定位置
4) 进针
5) 重复扫描
该自动化功能可大大减少扫描过程中人工移动样品所需时间,从而缩短测试时间,提高生产率。
![SLD-head](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a49681b48.png)
您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜扫描头。该设计可将扫描头自动锁定至预对准的位置,无需调节激光位置,激光自动投射在针尖上。借助于四象限检测器,显微镜可精确成像并准确测定力.距离曲线。
![expansion-slot](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a49692c55.png)
您只需要将可选模块插入扩展槽,您便可激活高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块化设计,其产品线的配置兼容性大大提高。
![digital-electronics](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a496a02d1.png)
所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理的。该控制器是全数字、24位高速控制器,可确保Park 真正非接触模式下的成像精度和速度。凭借着低噪声设计和高速处理单元,该控制器是纳米级成像和精确电压电流测量的绝 佳选择。嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能,更好的解决方案,是资 深研究院的理想选择。
XY.Z轴检测器的24位信号分辨率
• XY轴(50 μm)的分辨率可低至0.003 nm
• Z轴(15 μm)的分辨率可低至0.001 nm
嵌入式数字信号处理功能
• 三个锁相放大器
• 探针弹簧系数校准
• 数据Q控制
集成式信号端口
• 专用可编程信号输入/输出端口
• 7个输入端口和3个输出端口
![z-scanner](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a496b349c.png)
高强度压电堆栈和挠性设计,标准Z轴扫描器的共振频率高达9kHz(一般为10.5kHz)且探针的Z轴扫描速率不低于48 mm/秒。Z轴扫描范围可从标准的15 µm扩展至30 µm(可另选Z扫描头)。
![encoders](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a496c61a0.png)
编码器可用于所有自动样品载台,并可保证更高的重复定位精度,从而可更精 准地控制样品测量位置。XY马达运动工作时分辨率为1 µm,重复率为2 µm。Z马达运动的分辨率为0.1 µm,重复率为1 µm。
![Sample-holder](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a496d7dc0.png)
借助创新的镜头设计,用户可从侧面操作控样品和探针。根据XY轴样品台所设定的行程范围,用户在样品台上可放置的大样品体积直径可高达200 mm。
![optics](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a496efe3c.png)
定制物镜配有超长工作距离(51 mm,0.21的数值孔径,1.0 µm的分辨率),带来超高的镜头清晰度。
同轴光源设计让用户可轻易地在样品表面寻找测试区域,物镜分辨率为0.7 µm。得益于CCD的高端传感器,在获得较大视场的同时,分辨率却不受影响。由软件控制的LED光源能为样品表面提供足够的照明,便于清晰观察样品。
![focus-stage](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a4970dfa2.png)
高度限行Z轴移动和聚焦系统,可以得到清晰的视野和图像,用户通过软件界面进行操作,由高精度步进电机驱动,即使液体或者透明样品也可快速找到样品表面。
原子力显微镜模式
QuickStep SCM模式
高通量QuickStep扫描
在QuickStep扫描模式下,SCM测量通量大幅提升,可达到标准SCM扫描速度的十倍,且信号灵敏度、空间分辨率和数据精 准度不受影响。在QuickStep扫描模式下,XY轴扫描器在各像素点停住,记录数据。扫描器会在各像素点之间快速跳跃。
QuickStep扫描
![quickstep-scan](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a49720820.png)
XY扫描器采取多点运动。
![quickstep-scan-rate](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a49737c5d.png)
扫描速度1.5Hz
传统扫描
![conventianal-scan](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a4974e35e.png)
![conventianal-scan-rate](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a49761f6a.png)
扫描速度1Hz
扫描大小: 10 µm×3 µm, AC Bias: 0.5 Vp-v, DC Bias: 0 V
Park SCM精 准的掺杂形貌量测
在半导体制造业,分析掺杂剂分布对于确定失效原因和进行设计改进有着重要作用。在器件特性化方面,SCM有着优异二维量化掺杂剂分布分析能力。
![scm-signal](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a4977d1b0.png)
PinPoint导电原子力显微镜模式
PinPoint导电原子力显微镜模式是针对探针和样品之间的指定电接点而开发设计的。在电流采样过程中,XY轴扫描器会依据用户设定的接触时间停止。PinPoint导电原子力显微镜模式能够带来更高的空间分辨率,且不受 侧向力的影响,同时在不同样品表面的电流测量也得到优化。
PinPoint模式
![pinpoint-scan](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a49791847.png)
Contact
Tapping
![contact-scan](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a497a6a1b.png)
样品: ZnO nano-rods, -3 V sample bia
s
通过对比氧化锌纳米棒在不同类型的导电原子力显微镜图像,我们可以看到相比轻敲式导电原子力显微镜,传统的接触式导电原子力显微镜有着更高精度的电流测量,但其分辨率低,原因在于探针在接触中快速磨损。全新的PinPoint导电原子力显微镜不但空间分辨率更高,且电流测量也得到优化。
高带宽低噪声导电原子力显微镜
导电原子力显微镜是各类元件研究的重要工具,特别是工业的失效分析。Park导电原子力显微镜在市场中拥有核心竞争力,不但有着全行业超低的电流噪声,且增益范围也是较大。
Park NX20先进的SPM模式
表面粗糙度检测
电学性能
机械性能
技术参数
Park NX20技术参数
扫描器
Z扫描器
柔性引导高推动力扫描器
扫描范围: 15 µm (可选 30 µm)
高度信号噪声等级: 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz带宽)
闭环控制的柔性引导XY扫描器
扫描范围: 100 µm × 100 µm
(可选 50 µm × 50 µm)
Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)
聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)
XY位移台行程范围 : 200 mm x 200 mm
样品尺寸 : 基本配置开放空间 up to 200 mm x 200 mm,厚度 up to 20 mm
样品重量 : < 500 g
10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µm分辨率)
样品表面和悬臂的直观同轴影像
视野 : 840 × 630 µm (带10倍物镜)
CCD : 100万像素, 500万像素 (可选)
AFM系统控制和数据采集的专用软件
智能模式的快速设置和简易成像
手动模式的高级使用和更精密的扫描控制
AFM数据分析软件
集成功能
4通道数字锁相放大器
数据Q控制
信号处理
连接外部信号
20个嵌入式输入/输出端口
5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP, 调制和交流偏压
标准成像
真正非接触式原子力显微镜
PinPoint™ 原子力显微镜
接触式原子力显微镜
横向力显微镜(LFM)
相位成像
轻敲式原子力显微镜
力-距离(F/d)光谱
力谱成像
静电力显微镜 (EFM)
动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)
压电力显微镜 (PFM)
高压压电力显微镜*
力调制显微镜 (FMM)
纳米压痕*
纳米刻蚀*
高压纳米刻蚀*
纳米操纵*
磁力显微镜 (MFM)
可调制磁力显微镜
导电原子力显微镜 (C-AFM)*
IV 谱线*
扫描开尔文探针显微镜 (KPFM)
扫描电容显微镜 (SCM)*
扫描电阻显微镜 (SSRM)*
扫描隧道显微镜 (STM)*
光电流测绘 (PCM)*
功能化探针的化学力显微镜
电化学显微镜 (EC-AFM)
为用户量身定制原子力显微镜
Park的自动化控制软件,可根据您的预设程序自动进行AFM测量。它可以准确地收集数据,执行模式识别,并使用它的寻边器和光学模块进行分析,不需要人工介入,从而为您节省大量宝贵时间。
倾斜样品倾角夹具,可帮助您进行样品侧壁成像。
NX20的创新架构实现了对样品侧壁和表面的检测,还能够测量出相应角度。这为您提供了更多的创新研究方案和对样品更深入的理解。
创新的控制设计使Park NX20能够快速达到温度平衡
NX20具有主动隔振功能。
集成编码器的自动载台
• XY马达运动工作时分辨率为1 µm,重复率为2 µm。
• Z马达运动的分辨率为0.1 µm,分辨率为1 µm。
• 用于电气测量的专用小样品架
• 用于固定晶圆的真空槽
温度控制
· 温控台 1: -25 °C to +170 °C
·温控台 2: Ambient to +250 °C
· 温控台 3: Ambient to +600 °C
![demensions](http://yiqi-oss.oss-cn-hangzhou.aliyuncs.com/aliyun/3413/Company/20240408-9994943296613a497e33b4.png)
- 产品分类
- 品牌分类
-
仪企号
Park System Corp.
-
友情链接