大样品原子力显微镜

概览功能强大——助力研究如虎添翼Park NX15不仅非常适合共享实验室里的研究人员处理各种样品、进行多变量实验，也同样适合故障分析工程师处理晶圆的系统性工作。合理的价格和强大的集成功能使其快速成为

概览引领用于故障分析和大型样品研究的纳米计量工具作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许有错误的存在。Park NX20，这款高精密的大型样品原

Park NX20 300mm可用于 300mm晶片圆测量和分析的高端自动化纳米测量工具Park NX20 300mm是业界创新型大样品原子力显微镜，支持300mm×300mm全程机动化。