详细介绍
概要
气体质量流量计(Mass Flow Meter,简称MFM)利用温差量热法原理,可对气体的质量流量进行精密测量。用这种方法测出的气体流量可以忽略温度和压力影响。
本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJT10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件和命名方法。
MFC/MFM出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分),SLM (标准升/分)
标准状态规定为:温度---273.15 K(0℃),气压—-101325 Pa(760mm Hg)
F.S.(Full Scale):满量程值
产品特点
本产品具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点,安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使用,也可通过模拟数字信号转换器(ADDA转换器)配合计算机使用。
流量规格(N2标定)
0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~1,2,3,5,10,20,30 SLM
注:满量程流量不限于此处列出的流量规格,可以在5SCCM~30SLM范围内任选,例如123SCCM。
输入输出信号
0~+5.00V (无输入信号,输出电流不大于3mA)
应用行业
化学工业、石化工业、LNG工业、半导体材料和微电子工业、医药工业、特种材料研究、环保和真空行业等。使用本产品的设备主要有:真空镀膜设备、混气配气设备、光纤熔炼设备、晶体制备设备、微电子设备、微反应装置、气相色谱仪及其它分析仪器等。
产品优势
本产品具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点,安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使用,也可通过模拟数字信号转换器(ADDA转换器)配合计算机使用。
相关产品
- 产品分类
- 品牌分类
-
仪企号
北京迈测仪器有限公司
-
友情链接