射频发生器（RF）

(1) 电路类型：电感反馈式自激振荡电路，全自动点火，全自动化控制，所有功能实现电脑设置(点火、熄火、功率等参数设置)；实时功率控制；自动匹配调谐；光室恒温；自动峰位校正；蠕动泵进样，泵速连续可调；针对不同样品有多种进样系统可以选择(普通进样系统、耐高盐进样系统、耐氢氟酸进样系统)；防紫外线辐射、防高频辐射观察玻璃，使操作更安全。

同轴电缆输出，匹配调谐，取功率反馈，进行闭环自动控制。

(2) 工作频率：40.68MHZ±0.05%

(3) 频率稳定性：<0.1%

(4) 输出功率：800－1200w

(5) 输出功率稳定性：≤0.3%

(6) 电磁场泄漏射强度：距机身30cm 

电场强度E：<2V/m，磁场强度H：<0.2A

进样装置:

(1) 输出工作线圈内径25mm，3匝

(2) 炬管：三同心Fassel型，外径20mm的石英炬管

(3) 同轴型喷雾器外径6mm

(4) 双筒形雾室外径35mm

(5) 氩气流计规格和载气压力表规格：

①、 等离子体流量计（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min)

②、 辅助气流量计（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min)

③、 载气流量计（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min)

④、 载气稳压阀（0-0.4MPa）

测光装置:

(1) 光电倍增管规格： R212UH

(2) 光电倍增管负高压：200-1000V ，稳定性<0.05%

(3) 光电倍增管电流测量范围：10-12 -10-4A

(4) 信号采集为V/F交换：1mV对应100Hz

分光器:

(1) 光路: Czerny- Turner

(2) 焦距: 1000mm

(3) 光栅规格：离子刻蚀全息光栅，刻线密度3600线/mm以及2400线/mm，

刻线面积: 80×110mm，线色散率倒数：0.26nm

(4) 波长扫描范围：180-500nm（3600线/mm），180-800nm（2400线/mm） 

(5) 分辨率: ≤0.008nm

(6) 步进电机驱动Z小步距：0.0005nm

(7) 入射狭缝：20μm 出射狭缝：25μm

(8) 发射镜规格：（78 × 105 × 16）mm

(9) 透镜ф30，1：1成像