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杭州雷迈科技有限公司
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技术参数
| 品牌: | 韩国Nano System | 型号: | NanoSystem NV2400 |
详细介绍
Nano View-2400非接触式3D轮廓仪
Nano View-2400非接触式3D轮廓仪为LCD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS，Engineering Surfaces等领域提供纳米级别精度的量测.
通过非接触式的方法对0.1nm-270nm的3维表面形貌进行高进度和高速测量。利用物镜转台可方便的进行放大倍数的转换。使用拼接功能可分析宽广的表面。
产品规格：
干涉物镜：5个物镜可选
扫描范围：0-180um（270um，5mm可选）
垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm ，PSI ：﹤0.1nm
倾斜台：±6°
Z轴行程：100mm（手动）
工作台面：100X100mm（程控)
沪公网安备 31011502008050号