本文建立了蓝宝石工件旋转磨削的运动学数学理论模型,并通过分析砂轮单颗磨粒和基片之间的相对运动,给出了基片旋转磨削的运动轨迹参数方程,并在此基础单晶蓝宝石具有一系列优良的性能,莫式硬度高达9,在和民用领域具有广泛的用途。由于其硬度大,传统的平整化加工方法(研磨+抛光)存在加工效率低、难以实现自动化、污染环境等缺点,因此,外学者一直致力于如何实现单晶蓝宝石基片的、无损伤表面的超精密加工技术的研究。其中,采用固结磨料的超精密磨削技术是目前研究的热点,并已取得了显著的成果,但传统的金刚石砂轮磨削不可避免的会在单晶蓝宝石基片表面产生损伤,还需要后续的化学机械抛光去除损伤层,反而降低了基片的加工效率。 对上述问题,为了无损地加工单晶蓝宝石基片,本文提出了采用软磨料砂轮磨削单晶蓝宝石的加工方法,利用砂轮磨料、添加剂和单晶蓝宝石之间的固相化学反应和软磨料的机械摩擦作用实现单晶蓝宝石基片超光滑、低损伤磨削加工。根据单晶蓝宝石的物理质,本文设计制造了超精密磨削单晶蓝宝石基片的软磨料砂轮,设计两个软磨料砂轮的组织成分,进行磨具的压制和软磨料砂轮的制造,并通过磨削修整试验,验证了两个软磨料砂轮的实用性;进行了磨料和单晶蓝宝石之间的固相化学模拟试验,模拟磨削过程中的固相化学反应,试验表明,MgO和Fe_2O_3磨料都可以与单晶蓝宝石发生固相化学反应,为软磨料磨削机理提供理论依据;进行了软磨料砂轮磨削蓝宝石基片的磨削性能试验,结果表明,使用软磨单晶蓝宝石具有良好的热特性、电气特性、透光性、耐磨性和较高的硬度,所以作为发光二极管(LED)、激光器(LD)的基片广泛应用于大屏幕彩显、特种照明、交通、光通讯等领域。
江苏光电棱镜生产,其化学成分是在无色光学玻璃的基础上,添加少量二氧化铈来消除高能辐射在玻璃中形成的色心,使这种玻璃在受辐照后光吸收变化很小。③有色光学玻璃——对某些波长的光具有特定吸收或透射性能。亦称滤光玻璃,有百余个品种。颜色滤光片对某些颜色能选择吸收,中性滤光片对所有波长的光的吸收相同,只是减低光束强度而不改变其颜色。干涉滤光片则是根据光的干涉原理,将不需要的颜色反射掉而不是吸收。
激光材料加工涉及范围很广,材料的烧结、打孔、打标、切割、焊接、表面改性和化学气相沉积等都已把激光作为一种必不可少的能源。激光束可以聚焦到很小的尺寸,因而特别适合于精密加工。我们按照加工材料的尺寸大小和加工的精度要求,将目前的激光加工技术分为三个层次:①大型件材料激光加工技术,以厚板(数毫米至几十毫米)为主要对象,其加工精度一般在毫米或者亚毫米级;②精密激光加工技术,以薄板(0.1~1.0mm)为主要加工对象,其加工精度一般在十微米级;③激光微细加工技术,对厚度在100μm以下的薄膜为主要加工对象,其加工精度一般在十微米以下甚至亚微米级。必须说明的是,在机械行业中,精密通常是指表面粗糙度小、公差(包括位置、形状、尺寸等)范围小。
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