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分子束外延系统
主要特点 紧凑 节约成本 技术参数 8英寸不锈钢球形真空腔体 本底真空:<1×10-10 mbar 四轴样品台: • X/Y: ±7.5mm; 精度: 50µm • Z: 150mm; 精度: 100µm • 旋转: 360°, 精度 0.1° • 电子束加热至2000℃ • 辐射加热至1000℃ • 液氮冷却至-170℃ 蒸发源:最多5个 离子枪:RBD IG2 离子枪, 配X-Y方向波纹管调节 系统尺寸: 1500*600*1750(mm) 可选项 膜厚检测 红外测温 反射高能电子衍射
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中科艾科米(北京)科技有限公司
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