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Technoorg Linda 离子研磨仪助力 SEM 观测更真实的样品表面
发布:复纳科学仪器(上海)有限公司浏览次数:168SEM / TEM 制样设备
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宽泛的离子束能量范围|快速换样系统
灵活的载物台选择
一般来说,扫描电子显微镜样品制备通常使用机械切割或者磨抛的方式进行样品观测。机械研磨作为Z常用的制备手段,通过研磨和抛光在样品表面形成 1nm 至 100nm 厚度的非晶层,称为 Beilby 层。Beilby 层会掩盖住大部分的样品真实信息,对扫描电镜表征产生很大的影响。
机械制样测试的 SEM 结果
离子研磨工作原理:可以无应力地去除样品表面层,加工出光滑的镜面,为扫描电镜的样品制备提供了Z为有效的解决方案。
离子研磨是使用高能离子枪轰击样品的顶面。高能离子束与样品的表层非晶层中松散结合的表面原子相互作用,并将其除去以显示原子级清洁的表面。在整个过程中可以调整离子能量,离子束入射角等,以优化样品制备时间和表面质量。
离子研磨仪工作原理示意图
经过 Technoorg Linda SEMPerp2 离子研磨仪处理后,使用扫描电镜(SEM)观测可以得到更为真实的样品表面。
应用案例
引线键合
结束前工序的每一个晶圆上,都连接着 500~1200 个芯片(也可称作 Die)。为了将这些芯片用于所需之处,需要将晶圆切割(Dicing)成单独的芯片后,再与外部进行连接、通电。此时,连接电线(电信号的传输路径)的方法被称为引线键合(Wire Bonding)。
引线键合是把金属引线连接到焊盘上的一种方法,即把内外部的芯片连接起来的一种技术。从结构上看,金属引线在芯片的焊盘(一次键合)和载体焊盘(二次键合)之间充当着桥梁的作用。因此,键合的质量会直接影响产品的质量,通常会使用 SEM 进行观测。
通过直接机械研磨后进行检查无法观测到键合质量的好坏,经过 Technoorg Linda SEMPerp2 离子研磨处理后可以清晰地看到键合的质量。
机械研磨(无法观测到键合质量)
Technoorg Linda SEMPerp2 离子研磨处理后
关于 Technoorg Linda
Technoorg Linda 始创于匈牙利,专注于通过不断创新,提供全球Z高质量,Z易于使用和Z可靠的研磨系统。
SEMPrep2 系列可以胜任各类复杂情况,全面兼容所有品牌电子显微镜。
01.
超高能离子枪
SEMPrep2 标配 2keV-16keV 高能离子枪,可以保证更快的研磨速度。搭配双离子枪设计,加速电压从 100eV 到 16keV 连续可调,满足多种样品场景。
02.
多种样品台选择
SEMPrep2 离子研磨仪搭配 30°,90°,平面样品台,满足多种样品测试需求。
03.
多种制冷配件选择
SEMPrep2 系列可以在标准制冷,Peltier 电制冷,液氮 LN2 制冷中选配制冷配件。
标准制冷采用独家热导制冷技术,导热更快
Peltier 电制冷Z低制冷温度可达 -30 ℃
液氮 LN2 制冷Z低制冷温度可达 -195 ℃
04.
智能电脑控制系统
采用智能电脑控制系统,操作软件基于 Windows 系统,软件操作简单,方便远程操作。
如果您对 Technoorg Linda SEMPrep2 离子研磨仪感兴趣,欢迎扫码咨询获取更多应用案例 / 产品信息:
咨询热线:400 857 8882
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2023-11-21相关仪器- 免责声明
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