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CMP晶圆减薄抛光

 
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7AF-HMG SiC研磨机
7AF-HMG SiC研磨机
价格:面议
  • 品牌: EVG
  • 型号:7AF-HMG
  • 产地:奥地利
  • 7AF-HMG研磨机具有实时过程监控及双探头监测功能,研磨SiC会产生热量,从而导致研磨机热膨胀,使用单个探针,研磨的前几块晶圆的厚度读数将不准确,通常会导致研磨不足,使用双探针可防止研磨不足,一个探...

6EZ-SIC抛光机
6EZ-SIC抛光机
价格:面议
  • 品牌: EVG
  • 型号:6EZ-SIC
  • 产地:奥地利
  • Revasum拥有多年研磨和抛光超硬材料(如SiC)的经验,6EZ SiC抛光机是市场上仅有的一款专门为抛光SiC基片而设计的SiC CMP工具,竞争对手的抛光机基本上是为抛光硅集成电路而设计的,这有...

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