EVG纳米压印机

多功能EVG7300 UV纳米压印光刻系统可以支持多种相关的UV工艺:SmartNIL，晶圆级光学(WLO)和堆叠-三种功能合并在一个灵活的工具中

纳米压印支持多种标准光刻工艺，例如真空，软，硬和接近曝光模式，并可选择背面对准。此外，该系统还为多功能配置提供了附加功能，包括键对准和纳米压印光刻（NIL）。

光刻机Track系统通过集成的生产系统和结合掩模对准和曝光以及集成的预处理和后处理的高度自动化功能，完善了EVG光刻机产品系列。HERCULES光刻机Track系统基于模块化平台，将EVG已建立的光学...

我们的EVG770分步重复纳米压印光刻机是用于步进式纳米压印光刻的通用平台，可用于有效地进行母版制作或对基板上的复杂结构进行直接图案化。这种方法允许从蕞大50 mm x 50 mm的小模具到蕞大300...

EVG620 NT以其多功能性和可靠性而著称，在蕞小的占位面积上结合了先进的对准功能和蕞优化的总体拥有成本，提供了优于其他品牌的掩模对准技术。它是光学双面光刻的理想工具，可提供半自动或自动配置以及可选...

长达 150 毫米的自动化全场紫外纳米压印解决方案，采用 EVG 专有的 SmartNIL 技术。

EVG6200 NT以其自动化灵活性和可靠性而著称，可在最小的占位面积上提供了优于其他品牌的掩模对准技术，并具有最高的产能，先进的对准功能和优化的总拥有成本。操作员友好型软件，最短的掩模和工具更换时间...

美国 Filmetrics 公司生产的薄膜厚度测量仪测量精度达到埃级的分辩率，测量迅速，操作简单，界面友好，是目前市场上zui具性价比的薄膜厚度测量设备。设备光谱测量范围从近红外到紫外线，波长范围从2...