机型系列： PA80MET / PA80MET-T ( 落射 / 透反照明型 ) ● 载物台行程：200 x 200 mm ，PA120MET / PA120MET-T ( 落射 / 透反照明型 ) ● 载物台行程：300 x 300 mm   八寸晶圆检查显微镜 苏州卡斯图电子有限公司 12寸晶圆检查显微镜 麦克奥迪dai理商苏州卡斯图电子有限公司

采用前置低位粗微同轴调焦系列，即便在超大负荷  工作下也不会出现下滑现象，以及长期使用的可靠性。

超大行程移动平台，Z大移动范围：305mm X  305mm, 可适用于 12” 的晶圆、LCD 或 FPD 检测，  也可用于小尺寸样品的陈列检测，通过切换离合器手 柄可实现全行程范围内的快速移动。

多样的照明器可供选择：12V100W 卤素灯明场落  射照明，12V100W 卤素灯明暗场落射照明，可以  根据需要选择，电器全部内置主机，方便操作。

高精度物镜转换器：采用精密轴承设计，秉承了 Motic 轻巧舒适的手感和良好的重复定位精度及同心精度。
 电动转换器 电动转换器提高了您的工作流程的速度，标志着 PA53MET 更方便地使用。根据您的需求和偏好，从软件、框架按钮  或控制器调整方法中进行选择，以进一步提高生产能力和 效率。

明场系列 暗场系列
机型 PA80MET PA80MET-T PA80MET-3D PA80MET-T-3D PA80MET-BD PA80MET-BD-T PA80MET-BD-3D PA80MET-BD-T-3D
光学系统 无限远校正光学系统 (CCIS®)
照明 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射
观察筒
正像三目头部 (FN 25)，倾斜角 20°，三筒光路 2 档选择：( 目视：相机 - 100: 0，0: 100）
正像双目头 (FN 25)，倾斜角 20° ( 选配 )
目镜
UC-WF 10X/ 25，屈光度可调 +/- 5 ( 标配 )
N-WF 15X/16，屈光度可调 +/- 5( 选配 )
N-WF 20X/12.5，屈光度可调 +/- 5( 选配 )
转换器
五孔明场转换器带 DIC 插槽 五孔暗场转换器带 DIC 插槽
电动五孔明场转换器带 DIC 插槽 ( 选配 ) 电动五孔暗场转换器带 DIC 插槽 ( 选配 )
Plan S-APO 平场半复消色差 金相物镜
Plan S-APO 5X/0.15 Plan S-APO 10X/0.3 Plan S-APO 20X/0.45 Plan S-APO 50X/0.8 Plan S-APO 100X/0.9 ( 选配 )
Plan S-APO BD 5X/0.15 Plan S-APO BD 10X/0.3  Plan S-APO BD 20X/0.45 Plan S-APO BD 50X/0.8 Plan S-APO BD 100X/0.9 ( 选配 )
LPlan S-APO  长距平场半复消色 差金相物镜（选配）
LPlan S-APO 20X/0.4  LPlan S-APO 50X/0.55  LPlan S-APO 100X/0.8
LPlan S-APO BD 20X/0.4 LPlan S-APO BD 50X/0.55  LPlan S-APO BD 100X/0.8
调焦机构
行程范围：29.5 mm，粗调和微调手轮 粗调：17.7 mm / 转，微调：0.1 mm / 转 上限位，松紧调节环 电气 集成电源，用于直流 12V100W 调光。 LED 亮度指示，IL 开关和 ECO 开关
反射主体 Yes / / / Yes / / /
透反主体 / Yes / / / Yes / /
反射 3D 主体 / / Yes / / / Yes /
透反 3D 主体 / / / Yes / / / Yes
反射照明 柯勒照明系统 / 明场，DIC，简易偏光 柯勒照明系统 / 明场，暗场，DIC，简易偏光   
光源 12V/100W 长寿命卤素灯泡
透射照明 / Yes / Yes / Yes / Yes
照明 /
柯勒照明系统明场 / 内置滤色片
/
柯勒照明系统明场 / 内置滤色片
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柯勒照明系统明场 / 内置滤色片
/
柯勒照明系统明场 / 内置滤色片
光源 /
12V/100W 长寿 命卤素灯泡
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12V/100W 长寿 命卤素灯泡
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12V/100W 长寿 命卤素灯泡
/
12V/100W 长寿 命卤素灯泡
聚光镜 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65
载物台
尺寸 : 325mm ( Z宽处 415mm) X 325mm 移动行程：200mm X 200mm 选配：晶圆台板

明场系列 暗场系列
机型 PA120MET PA120MET-T PA120MET-3D PA120MET-T-3D PA120MET-BD PA120MET-BD-T PA120MET-BD-3D
PA120MET-BD-T3D
光学系统 无限远校正光学系统 (CCIS®)
照明 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射
观察筒
正像三目头部 (FN 25)，倾斜角 20°，三筒光路 2 档选择：（目视：相机 - 100: 0，0: 100）
正像双目头 (FN 25)，倾斜角 20°（选配）
目镜
UC-WF 10X/ 25，屈光度可调 +/- 5（标配）
N-WF 15X/16，屈光度可调 +/- 5（选配）
N-WF 20X/12.5，屈光度可调 +/- 5（选配）
转换器
五孔明场转换器带 DIC 插槽 五孔暗场转换器带 DIC 插槽
电动五孔明场转换器带 DIC 插槽（选配） 电动五孔暗场转换器带 DIC 插槽（选配）
Plan S-APO 平场半复消色差 金相物镜
Plan S-APO 5X/0.15 Plan S-APO 10X/0.3 Plan S-APO 20X/0.45 Plan S-APO 50X/0.8 Plan S-APO 100X/0.9（选配 )
Plan S-APO BD 5X/0.15 Plan S-APO BD 10X/0.3  Plan S-APO BD 20X/0.45 Plan S-APO BD 50X/0.8 Plan S-APO BD 100X/0.9（选配 )
LPlan S-APO  长距平场半复消色 差金相物镜（选配）
LPlan S-APO 20X/0.4  LPlan S-APO 50X/0.55  LPlan S-APO 100X/0.8
LPlan S-APO BD 20X/0.4 LPlan S-APO BD 50X/0.55  LPlan S-APO BD 100X/0.8
调焦机构
行程范围：29.5 mm，粗调和微调手轮 粗调：17.7 mm / 转，微调：0.1 mm / 转 上限位，松紧调节环 电气 集成电源，用于直流 12V100W 调光。 LED 亮度指示，IL 开关和 ECO 开关
反射主体 Yes / / / Yes / / /
透反主体 / Yes / / / Yes / /
反射 3D 主体 / / Yes / / / Yes /
透反 3D 主体 / / / Yes / / / Yes
反射照明 柯勒照明系统 / 明场，DIC，简易偏光 柯勒照明系统 / 明场，暗场，DIC，简易偏光
光源 12V/100W 长寿命卤素灯泡
透射照明 / Yes / Yes / Yes / Yes
照明 /
柯勒照明系统明场 / 内置滤色片
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柯勒照明系统明场 / 内置滤色片
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柯勒照明系统明场 / 内置滤色片
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柯勒照明系统明场 / 内置滤色片
光源 /
12V / 100W 长寿 命卤素灯泡
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12V / 100W 长寿 命卤素灯泡
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12V / 100W 长寿 命卤素灯泡
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12V / 100W 长寿 命卤素灯泡
聚光镜 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65
载物台
尺寸 : 520mm X 400mm 移动行程：300mm X 300mm 选配：晶圆台板